【課題】ＨＩＰＩＭＳのスパッタ源のプラズマに含まれるイオンの生成分布を安定して検出する。
【解決手段】ＨＩＰＩＭＳのスパッタ源で発生したプラズマに含まれるイオンをＴＯＦ質量分析にかけて、イオンの生成分布を検出する。その際、プラズマからの光を検出し、ＴＯＦ分析装置におけるイオンの飛行時間の開始時刻をプラズマからの光に基づき定める。ＨＩＰＩＭＳのスパッタ源に対向するＴＯＦ質量分析装置の開口部はスパッタ源のターゲットより低い電位とする。 （もっと読む）

【課題】物理蒸着法により硬質被膜を表面にコーティングする母材が円筒状の切削工具において、個々の工具の被膜と母材との密着強度を保証することを可能とする。
【解決手段】切れ刃と切れ刃の間の部分に、ロックウェル硬さ計による打痕が可能な微小な平面を設けることにより、この面にロックウェル硬さ計による圧痕を打痕することにより、母材とコーティング被膜との密着強度を物理蒸着された個々の切削工具について確認可能とする。 （もっと読む）

【課題】高速、無潤滑切削に用いられる切削工具に適した、耐酸化性、耐熱性に優れたZr-Al-Si-N系の皮膜をPVD処理により基板上に形成するために、製作工程における金属間化合物形成による脆化やジルコニウム粉末の酸化による発火や爆発の危険性を防止して容易にかつ低コストで製造したPVD処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を提供する。
【解決手段】必要数のプラグ嵌合用の孔を加工したジルコニウム板材に、Al-Si合金で製作したプラグを嵌合し、ＰＶＤ処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を製作する。 （もっと読む）

【課題】型材や切削工具等の鉄鋼製部材に耐酸化、耐摩耗表面処理を行う場合に、基板材の硬さも高いことが必要であるため、工具鋼であるSKH-51のような高合金鋼や超硬合金を使用しており、材料コストが大きくなるという課題がある。
【解決手段】基板材として炭素鋼や可鍛鋳鉄のような低合金を用い、この基板材の焼き入れ温度以上の高温での耐酸化性、耐熱性を有するTi-Al-N系又はAl-Cr-N系又はAl-Cr-Si-N系の皮膜を最外層とする皮膜をアーク式イオンプレーティングで形成した後、火炎焼き入れ等の局部的熱処理により耐摩耗性必要部位の焼入れを行うことにより、低コストの低合金を基板材とした鉄鋼製部材の耐摩耗性、耐酸化性を付与する製造方法、及び低合金を用いて上記表面処理後に基板材の硬化熱処理を行うための、耐熱、耐酸化表面処理サービス。 （もっと読む）