【課題】一台の装置で溝、テーパ、コーナー等の形状を持つ被検査物の内面および／または外面の表面欠陥を効率よく簡易な構造で、検査が可能な表面欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】反射ミラー１１はミラー軸１１ａに取り付けられ、ミラー軸１１ａと駆動軸１４には其々プーリー１３ａおよび１３ｂが装着されており、当該プーリー間をタイミングベルト１３ｃでつないでいる。また、駆動軸１４はミラー駆動モータ１５につながっており、駆動モータ１５を微少角度回転させることで、駆動軸１４の回転が前記プーリー１３ａ、１３ｂおよびベルト１３ｃを介して前記ミラー軸１１ａに伝達され、反射ミラー１１の角度が変化する。 （もっと読む）