説明

アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッドにより出願された特許

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ロードポート及び移送モジュールを有するシステム。一実施形態では、ロードポートは、第1の開口部及び第2の開口部を備えたプレートと、第1の加工物アクセスポートと、第2の加工物アクセスポートと、少なくとも1つの貯蔵場所とを有する。貯蔵場所は、第2の加工物アクセスポートの下か第1の加工物アクセスポートの上かのいずれかに配置されるのが良い。移送モジュールは、ロードポートに隣接して位置しており、かかる移送モジュールは、加工物容器を第1の加工物アクセスポートと第2の加工物アクセスポートと貯蔵棚又は貯蔵場所のうちのどれかと素材搬送システムとの間で移動させるロードアームを有する。
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【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び/又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の1つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
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本発明は、一般的には、RFIDアンテナが、コンテナ上に取付けられたRFIDタグから情報を入手することを可能にする装置に関する。本装置は、アンテナが発生したRF場を、RFIDタグの近くの位置に再現する。一実施の形態では、本装置は、ピックアップデバイスと、ピックアップデバイスに電気的に結合された再現デバイスとを具備する。別の実施の形態では、本装置は、アンテナとRFIDタグとの間を走るRF場のための磁路を作る少なくとも1つの磁気ロッドを具備する。別の実施の形態では、本装置は、ピックアップアンテナと再現アンテナとを具備し、再現アンテナは、該再現アンテナからRFIDタグの近くにRF信号を伝送するようになっている。
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本発明のストッカ(400)は、水平方向配列に構成された多数のコンテナ貯蔵箇所(412)を有する。貯蔵箇所(412)の水平方向配列は、製造設備の天井から吊下げられてもよいし、製造設備のフロアによって支持されてもよい。ストッカ(400)は、その中でワークコンテナ(2)を移送し及び/又はマテリアル移送システム(50)にワークコンテナ(2)を移送する1つ以上のストッカロボット(410,450)を有している。ストッカ(400)は、コンテナエレベータ(440,448)及びコンベヤループ(80)の構造を有する。
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【課題】本発明は、加工施設全体を通して、より具体的には加工施設のツールベイを通して、容器を輸送する容器を輸送する輸送システムを提供する。
【解決手段】本発明の輸送システムは、一般的に、容器をベイ間コンベヤーから第2のツールベイに向けて輸送するための第1の容器輸送システムと、容器を第1のツールベイから遠くへ移動させるための第2の容器輸送システムと、容器を第1及び第2の容器輸送システムとロードポートとの間で移動するためのツールローディングデバイスと、を含む。また、容器を第2の容器輸送システムとベイ間コンベヤーとの間で容器を輸送するための合流リターンコンベヤーを含むのがよい。 (もっと読む)


本発明は、天井式区画間荷物処理システム、床式区画内材料取扱システムを有する製造設備内でコンテナを管理するストッカを含む。一実施形態では、ストッカは、少なくとも一つのコンテナを貯蔵するコンテナ貯蔵領域、天井式搬入コンベア、床べースのコンベア、及びロボット機構を含む。ストッカの床式コンベアは、搬出コンベア、搬入コンベア、又はこれらの両方を含んでもよく、ストッカのコンテナ貯蔵領域と床式区画内材料取扱システムとの間でコンテナを移動させる。ロボット機構は、天井式搬入コンベア、コンテナ貯蔵領域、及び床式コンベアの間でコンテナを移動させる。
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本発明は、製造設備内で半導体コンテナ(2)を輸送するためのコンベア(100)を含む。一実施形態では、コンベアは、複数の独立制御のコンベア領域(Z)を含む。各コンベア領域は、第1のベルト(110)、第2のベルト(112)、第1のベルト及び第2のベルトを略同一速度で回転させる駆動組立体(138)を含む。第1のベルト及び第2のベルトは、略同一速度で駆動され、コンベアに沿ってコンテナが移動するときに、コンテナの底プレートを移動可能に支持する。他の実施形態では、コンベアは、とりわけコンテナの位置を決定するセンサ(200)を含む。
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本発明は、底面及び周縁(P)を有する少なくとも1つの加工物(W)を格納するための加工物容器(12)に関する。1つの実施形態においては、加工物支持構造体(202)は、容器包囲体(12)の中に配置され、容器包囲体(12)の中に複数の垂直方向積重ね式格納棚を形成する。1つの実施形態においては、各格納棚は、加工物を実質的に水平方向の向きに支持するための第1タイン及び第2タイン(206)を含む。格納棚上に着座する加工物(W)の底面及び周縁(P)は、第1タイン及び第2タイン(206)の両方の外縁(207)を越えて延びる。本発明によるエンドエフェクタは、加工物(W)の延長部分又は「把持区域」と係合することができる。
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本発明は、容器を第1の輸送システムと第2の輸送システムの間で輸送するための装置に関する。1つの実施形態では、第1の輸送システムは、天井ベースコンベヤ(20a,20b)を含み、第2の輸送システムは、床ベースコンベヤ(30)を有する。本発明による装置は、共通の垂直方向平面(150)の周辺で、輸送システムのうちの1つ(20a,20b)の区画と整列して実質的に水平方向に延びる格納棚(104a〜104d)を有する。輸送システム(20a,20b,30)は、半導体製造設備内の格納能力を追加するために、最も上の格納棚(104a)の真上又は最も下の格納棚(104d)の真下に配置される。垂直モジュール(102a,102b)は、容器(2)を輸送システム(20a,20b)と少なくとも1つの格納棚(104a,104b)との間で輸送する。
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本発明は、容器輸送システム(160)と処理ツール(10)の間で容器を移送するためのツール搭載装置に関する。ツール搭載装置は、単一又は複数の搭載ポート(12)を使用する。ツール搭載装置は、処理ツール(10)の搭載ポート(12)と処理ツールを通る容器輸送システム(160)の部分との間に配置される。ツール搭載装置は、従来の搭載ポート(12)と、例えばコンベヤ(160)との間で容器を移動させる改良方法を提供する。別の実施形態では、ツール搭載装置は、搭載ポート(12)の前を通る容器輸送システム(160)に実質的に平行である経路に沿ってツール搭載装置を移動させるx方向駆動アセンブリに連結され、ツール搭載装置が複数の搭載ポート(12)を使用することを可能にする。
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