【課題】マイクロ回路が蒸着されるガラスの表面上に発生可能な異物を正確に検査すること。
【解決手段】ガラス基板の異物を検出するためのレーザー光照射部を、前記ガラス基板の上部側面と下部側面にそれぞれ１つずつ所定の間隔を開けて具備し、前記レーザー光照射部から出射される光が、前記ガラス基板の移送方向に垂直な方向に照射されるように構成する。 （もっと読む）