【課題】ワーク表面に発生したプローブの二次像とプローブの先端部との位置関係から、プローブの先端部とワーク表面との距離を測定する距離測定装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤランプ７からプローブ６に光を照射することによりワーク９の表面に現れる二次像とプローブ６とを撮像した画像において、プローブ６のエッジを特定するエッジ特定部１０１と、二次像の外縁に沿った直線を画像上に挿入する直線挿入部１０２と、上記エッジと上記直線との重なりを判定する重なり判定部１０３と、を備え、１以上のＬＥＤランプ７、撮像装置、及びプローブ６が、ワーク９の表面に対して一体に移動可能に保持されている。それゆえ、距離測定装置１００は、ワーク９の表面に発生したプローブ６の二次像とプローブ６のエッジとの位置関係から、プローブ６のエッジとワーク９の表面との距離を測定することができる。 （もっと読む）