説明

ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・インスティテュート・フューア・エレクトロニク・ウント・メステクニクにより出願された特許

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【課題】大面積の測定したい表面の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、大面積の測定される表面(12)の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスに関し、少なくとも1つのセンサ要素(29)、およびセンサ要素(29)に関連付けられた少なくとも1つの接触球状キャップ(31)を備えた少なくとも1つの測定プローブ(28)は、測定値を得るために測定される表面(12)に宛てがわれ、大面積の測定される表面(12)は、個別の部分領域(14)に分割され、測定点(16)の行列は検査される各部分領域(14)に対して決定され、少なくとも1つの測定プローブ(28)を担持するデバイス(21)を使用して、部分領域(14)の行列の少なくとも1つの行(17)に沿って、等距離測定点(16)で測定値が探知され、測定値は、前部分領域(14)内の前記行列の全ての行(17)に対して連続的に探知され、この部分領域(14)に対して評価される。 (もっと読む)


【課題】 物体上の複数のコーティングを簡単および確実な方法で非破壊で検査できる測定プローブを提供すること。
【解決手段】 物体(16)の測定表面(17)への接触のための少なくとも1つのセンサ要素を備えた測定ヘッド(26)と、ハウジング(22)によって少なくとも部分的に囲まれる測定ヘッド(26)を受ける支持デバイス(24)とを備えた、物体(16)上の薄膜層の厚さの非破壊測定用測定プローブであって、基本の測定ヘッド(26)に隣接し、それから分離した少なくとも1つの付加の測定ヘッド(27)が、支持デバイス(24)に配置され、且つ、基本の測定ヘッド(26)とは独立して制御され得るよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】空洞内の被覆を検査でき、または空洞の被覆の厚さまたは不十分にしかアクセス可能でない区域を非破壊方式で判定できる測定プローブを提供する。
【解決手段】開口部によってアクセス可能な、または曲がった表面上の、特に空洞26内の薄い層の厚さの非破壊測定のための測定プローブ11であって、センサ要素と前記空洞26の検査予定の表面27上でセンサ要素に割り当てられる接触式球状のキャップとを備える測定ヘッド17と、前記測定プローブ11を測定予定の表面27上を表面27に沿って位置決めしガイドするための掴み要素12とを備え、それによってこの掴み要素12に長い弾性的に曲り易いガイド・バー16が設けられ、ガイド・バーは掴み要素12に対向するその端部上に少なくとも1つの測定ヘッド17をその測定ヘッドがガイド・バー16に対して移動できる。 (もっと読む)


【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ(26)を保持する保持器(24)を担持する変位部材(23)と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット(35)との間に、フリーホイール機構(51)を介在させ、測定用プローブ(26)または保持器(24)が測定対象(14)に接触すると、駆動ユニット(35)による駆動が変位部材(23)から切り離され且つスイッチング・デバイス(58)がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 (もっと読む)


【課題】 レイアウト及び構造が簡単で、測定精度の改善が図れる、材料の機械的特性を測定する装置及び方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、所定の幾何形状を有する圧子(14)と、圧子(14)を測定対象物(26)の材料試料表面へと押し込む力を発生するデバイス(28)と、押し込み深さを測定するデバイス(24)とを使用した材料の機械的特性を測定する装置及び方法であって、圧子(14)には、力を発生するデバイス(28)が作用する力印加部分(19)と、測定対象物(26)の材料表面に向いた圧子先端(22)を有するシャフト(21)とが含まれ、それらの力印加部分(19)とシャフト(21)との間に、力印加部分つまり力導入部分(19)に対しての、シャフト(21)の少なくとも1つの半径方向の偏位を生じさせ又は検出可能である少なくとも1つのマイクロメカニカル・モーション・アクチュエータ(31)を設ける構成とされている。 (もっと読む)


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