【課題】スピンコータはワックスの無駄が多いことから、その廃液を回収し、異物除去・溶剤添加・粘度調整する事で、再利用可能な液状ワックスとする。
【解決手段】使用済み液状ワックスに、希釈溶剤と同一の溶剤を使って希釈し粘度を調整する。異物を除去するための濾過フィルターを通して使用済み廃ワックスをリサイクルする再生する。 （もっと読む）