説明

日本アドテック株式会社により出願された特許

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【課題】半導体素子製造など結晶シリコンを基材とする加工工程で排出されるシリコン切削廃液を良好に固液分離し、シリコン切削屑などの含有された有用成分を低負担且つ低コストで分離回収し再生と再利用に供する処理方法の提供。
【解決手段】含有固体成分の微細粒子が分散した懸濁液であるシリコン切削廃液に極性非プロトン性溶媒、極性プロトン性溶媒、ノニオン系凝集剤、エチレンジアミン多価カルボン酸とその塩などの相分離成分を添加して廃液中の固相を凝集沈殿させることにより、廃液処理の初めの段階において良好な固液分離を確保して廃液中の有用成分の分離回収を容易なものとする。 (もっと読む)


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