説明

三菱マテリアルテクノ株式会社により出願された特許

11 - 20 / 201


【課題】水冷チャンバ内の冷却に要する時間を短縮し、生産効率を向上させること。
【解決手段】上方に向けて開口すると共に、内部に原料多結晶シリコンMが貯留される坩堝2と、坩堝内に貯留された原料多結晶シリコンを加熱するヒータ部3と、坩堝及びヒータ部が径方向の内側に配置された保温筒部4と、坩堝、ヒータ部及び保温筒部を内部に収容する水冷チャンバ5と、を備え、チョクラルスキー法によって原料多結晶シリコンから単結晶シリコンを製造する装置であって、保温筒部の少なくとも一部を保温筒部の軸O方向に沿って移動させる移動機構12を備えている単結晶シリコン製造装置1を提供する。 (もっと読む)


【課題】坩堝内に貯留された融液の液面位置を精度良く測定することができ、単結晶インゴットの引き上げを安定して行うことが可能な単結晶インゴットの製造装置を提供する。
【解決手段】気密チャンバ11と、溶解原料が収容される坩堝20と、この坩堝20を加熱して収容した溶解原料を溶融して融液を生成する加熱手段40と、種結晶を上方向に引き上げる引き上げ手段と、を備えた単結晶インゴットの製造装置10であって、坩堝20の上方で、かつ、引き上げられる単結晶インゴットから離間した位置に固定配置された標識部材60と、石英坩堝20内および標識部材60とを撮影する撮像手段61と、この撮像手段61による撮影像から、石英坩堝20内の液面に映り込んだ標識部材60の映り込み像60Aの位置を求め、前記液面の高さ位置を算出する算出手段62と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】希土類金属、放射性物質、鉄やアルミニウム等を含むスズスラグから、希土類金属を容易かつ確実に選択的に回収することができる希土類金属回収方法を提供する。
【解決手段】スズ精錬において排出されたスズスラグを水砕または機械粉砕して無機酸により溶解する無機酸浸出工程2と、このスズスラグの溶解液に酸化剤および中和剤を加えて、放射性物質が沈澱し、かつ希土類金属および鉄が沈澱しない第1の条件に調整して放射性物質を沈澱・除去する第1の酸化・中和工程3およびろ過工程4と、これから排出された中和液に酸化剤および中和剤を加えて、鉄が沈澱し、かつ希土類金属が沈澱しない第2の条件に調整して沈澱した鉄をろ過して除去する第2の酸化・中和およびろ過工程5、6と、ろ過された中和液中の希土類金属を回収するための有機溶媒抽出工程7、ストリップ工程8、沈澱工程9、沈澱洗浄工程10および乾燥/焼成工程11を備える。 (もっと読む)


【課題】純度の低い炭素材で形成することができ、SiOが硬化凝結し難く、優れた遮熱効果を備える単結晶成長装置用部材とその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る単結晶成長装置用部材は、炭素材で形成され、表面の一部又は全部がSi含浸層で覆われている。本発明に係る単結晶成長装置用部材の製造方法では、炭素材で形成された原形材の一部又は全部をシリコン融液に浸漬させ、前記原形材の表面の一部又は全部をSi含浸層で覆う。 (もっと読む)


【課題】有機還元剤によって硝酸を還元分解する処理方法において、触媒を用いることなく、廃液中の硝酸性窒素およびアンモニア性窒素を分解して廃液中の窒素濃度を排水可能な程度にまで低減することができる処理方法を提供する。
【解決手段】硝酸廃液に有機還元剤を添加して硝酸イオンを有機還元剤で還元分解する処理方法において、硝酸イオンの分解反応を阻害する溶存物を予め除去し、および/または該分解反応を阻害する作用を抑止して硝酸イオンの還元分解を進めることを特徴とする硝酸廃液の処理方法であり、例えば、亜硝酸の還元消去を生じる溶存物を予め酸化除去した後に有機還元剤を添加し、または廃液全体の酸濃度を高めて亜硝酸の生成を促すことによって、硝酸性窒素濃度がアンモニア性窒素濃度を上回るようにして硝酸イオンの還元分解を進める硝酸廃液の処理方法。 (もっと読む)


【課題】振動モータにより容器を振動させて、容器内に収容した処理対象物に対して、洗浄、滅菌等の処理をする場合に、容器の振動を効率的に処理対象物に伝達することができる振動処理装置を提供すること。
【解決手段】両端部が壁部21A、21Bにより閉塞され、処理対象物を収容する容器20と、前記容器20を振動させる振動モータ50と、前記容器20を支持する支持部材と、洗浄液供給部材60と、蒸気供給部材65と、前記容器20から処理液を排出する処理液排出手段70と、前記処理対象物を排出する処理対象物排出部27とを備えた滅菌装置1であって、前記容器20は、前記処理対象物と接触することで、前記振動モータ50の振動を前記処理対象物に伝達するためのシリコンゴムライニング23を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】地中浅部の水分を低下させることがなく、十分な熱交換量を確保して熱交換効率を低下させることがない地中熱利用ヒートポンプシステムの水平埋設式地中熱交換器装置の提供。
【解決手段】本発明の水平埋設式地中熱交換器装置は、地面に形成される形状が略長方形状の堀であって、所定の深さに掘削された熱交換用堀4と、熱交換用堀に、地面より所定の深さの第1深さ位置に、U字部が交互に反対方向を向くように蛇行して形成されている連続U字型流体路、円環状の部位が連続するように形成されている連続ループ型流体路、及び、螺旋状に形成されているスパイラル型流体路から選択される一つの流体路が略水平に埋設され、地中と熱交換を行うための循環流体が流通する第1地中熱交換器部31と、地面と第1地中熱交換器部との間に埋設され、地中の水分が大気に放出されてしまうことを防止するためのシート状水分維持部材35とを備えている。 (もっと読む)


【課題】簡素な構造であるとともに、薄板材を確実に吸着して連続搬送することができ、かつメンテナンスが容易な薄板吸着搬送コンベヤ装置を提供する。
【解決手段】搬送方向Fの上流側2aに受け取り部3、下流側2bに受け渡し部4が設けられた搬送手段2と、搬送手段2の上方に配設され、プレート7が無端状に連結されたトップチェーン6とを備え、受け取り部3にて薄板ガラス基板tをトップチェーン6に吸着させて搬送し、受け渡し部4にて吸着を解いてトップチェーン6より離脱させ、トップチェーン6は、プレート7の対向辺の一方側に凸部7a、他方側に凹部7bが形成されて、係合部6aにピン材6bが挿通され回動自在に連結されて、外表面6cの幅方向両側に独立気泡型パッド8が周設され、受け取り部3と受け渡し部4との間に、トップチェーン6の内表面6dを覆うとともに、プレート7の間を介して独立気泡型パッド8間の空間に連通する真空吸引室9が延設されている。 (もっと読む)


【課題】容器に光を照射して、容器壁部の漏光を光センサにより検出して、容器に生じた小孔等の欠陥を検査する場合に、容器に生じた大きな小孔から小さな小孔までを、効率的かつ確実に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Wに光を照射し、前記容器Wの壁部の漏光に基づいて、前記容器Wの小孔を検出する容器検査装置100であって、容器Wを支持して回転させる小孔検出回転体2、3を有する回転搬送機構1と、前記回転搬送機構1に支持される容器Wに光を照射する光源50と、前記容器Wの検査経路Mに配置された複数の光検出部51とを備え、前記光検出部51は、それぞれ検出感度の異なる光センサが設置されて、前記光検出部51毎に段階的に異なる大きさの小孔を検出するように構成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】検査経路を搬送される容器に照射した光が容器壁部を漏光するのを検出して、容器に生じた小孔を検査する場合に、容器の胴部及び底部の両方を同時に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Wを保持して周回するとともに搬送する小孔検査検出回転体と、前記容器Wの開口部W1側を支持するとともに遮光する開口部側支持体と、前記容器Wの底部W2側を支持して前記容器Wを前記開口部側支持体に押し付ける押圧部材40と、前記容器Wに光を照射する光源と、前記開口部W1が遮光された容器内部に配置された光センサ51Aを有し前記光源が照射した光の漏光を前記容器Wの内部で検出する光検出部とを備えた容器検査装置であって、前記押圧部材40の前記容器Wの底部W2と当接する部分には、光透過性を有する当接部材41を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


11 - 20 / 201