【課題】処理性能の良い状態を継続させ安定したプラズマ処理を行えるクリーニング方法を提供する。
【解決手段】１枚毎に被処理基板１０のプラズマ処理を実行し、ｎ枚毎（ｎ＝１，２，３・・・）の被処理基板１０のプラズマ処理が終了した段階で、プラズマ処理室１内からプラズマ処理終了後の被処理基板１０を搬出した後、試料台８に被処理基板１０がない状態で試料台８への高周波電圧の印加を行わずにプラズマ処理室１内をプラズマクリーニングした後、被処理基板１０のプラズマ処理をｎ枚毎実行する。 （もっと読む）

【課題】
シート状物の延伸機において、簡便な構造でリンクチェンの逆折れを防止し、リンク装置の高速化を図る。
【解決手段】
折尺状に形成された複数個の等長リンク装置３１及び該等長リンク装置３１に設けられたリンク開き量を制限するリンクチェン３６から成る無端リンク装置３を用いてシート状物１を延伸する装置において、シート状物１を延伸後、入口側のスプロケット部に戻る無端リンク装置３のリンクピッチを縮小させるスプロケット６を偶数の歯数にし、スプロケット６の一歯飛ばしの位置で歯底部にリンクチェンの押出し手段６１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 化粧板、荷物棚及び荷棚受金とをユニット化し、構体側の受金廃止及び部品取付工数の低減を図る。
【解決手段】 本発明の鉄道車両用内装構造は、サンドイッチパネル２２と、取り付け座２３、荷物棚受金２４、荷物棚２６とからなり、これらの部品をユニット化として内装材２０を構成している。内装部材２１と荷物棚受金２４がユニット化されており、別部品の荷物棚受金を構体に取付る必要がないため、構体側の受金を廃止することが出来る。また、荷物棚受金２４は、剛性のある部品としているため、ボルト固定本数を低減することができ、部品取付工数の低減を図ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】上下方向に大きな幅を有したり、複雑な形状をした台車枠の検査・補修が容易な台車枠回転装置を提供すること。
【解決手段】回転軸、軸受、カップリング、減速機、モータで構成される駆動装置、駆動装置を支持する支持フレーム、駆動装置に取付けられた台車枠固定金具、左右を支持するフレームを接続するツナギ板、駆動装置を上下する昇降装置からなり、どのような回転角度・どのような上下位置でも台車枠の検査・補修が可能となるようにした。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理の、特にプラズマエッチング処理において、被処理層の実際の厚さを正確に測定することのできる被処理材の処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】真空処理室内に配置された半導体ウエハ表面の膜についてこの真空処理室内に形成したプラズマを用いて処理する半導体ウエハの処理方法であって、前記処理中に前記半導体ウエハ表面から得られる複数の波長の干渉光を受け前記複数の波長の各々の前記干渉光の強度の微分値を検出するステップと、この検出された前記複数の波長の干渉光のうち第１の波長の干渉光についてその強度の微分値が零点を通過するパターンを用いて前記膜の厚さの範囲を求めるステップと、前記複数の波長の干渉光のうち第２の波長の干渉光についてその強度の微分値が零点を通過するパターンを用いて前記膜の厚さの範囲から前記膜の厚さを判定するステップとを備えた。 （もっと読む）

【課題】 跨座式モノレールの関節式分岐装置の上流側分岐桁と下流側分岐桁との連結部からの衝突音の発生を防止したり、抑制したりすることにある。
【解決手段】 分岐装置は、長さに短い複数の分岐桁１１，２１を直列に接続して構成される。上流側分岐桁１１は下流側分岐桁２１にＴ型ピン３１を介して載っている。Ｔ型ピン３１の水平ピン３２の軸方向の両端は軸受３５によって分岐桁の下面に固定されている。このため、水平ピン３２と垂直ピン３３との接合部は大きな径になっている。モノレール車両が走行すると、桁１１，２１は水平方向に押される。これによって、大径部は軸受３５に衝突し、大きな音が発生する。水平ピン３２の軸端と蓋４０との間にはゴム板４５があり、水平ピン３２の軸方向移動を防止している。このため衝突音は発生しない。 （もっと読む）

【課題】 モノレール車両の分岐器において、水平震度が大きな（例えば、０．９Ｇ）地震荷重が作用しても分岐器の転倒を防ぐことができ、さらに、既存の分岐器に取付け可能な構造であるモノレール分岐器の浮き上がり防止装置を提供することにある。
【解決手段】 分岐桁１を載せた台車２の移動方向の前後端に水平方向に突出する受け座７ａ、７ｂがあり、台車２の始端停止位置で前記受け座７ａ、７ｂにかぶさる第２のストッパーが設けられる。終端停止位置の前後端の受け座７ａ、７ｂに対応して、第２のストッパー９ａ，９ｄがあり、受け座７ａ，７ｂを覆う。このため、大きな水平地震荷重が掛かっても分岐桁１の転倒を防止できる。 （もっと読む）

【目的】マイクロ波の導入効率を高めて、プラズマ発生室内に均一で強いプラズマを発生させ、被処理物のアッシング速度およびアッシング速度の面内均一性を向上させる。
【構成】プラズマ発生室を形成するマイクロ波導入窓９のマイクロ波導入側に、所定の大きさの拡大空間を有する拡大導波管６，７を設け、該空間内に縦横比の異なる孔を有する仕切板８を設ける。これにより、拡大導波管の空間内で仕切板８を挟んでマイクロ波の共振空間が形成され、拡大導波管の空間内部に均一で強い電界が発生し、マイクロ波導入窓９を介してプラズマ発生室に入射され、プラズマ発生室内に均一で強いプラズマを発生する。 （もっと読む）