【課題】スプール型電磁弁の持つ欠点であるシール性が不完全であることが原因で起こる良品を不良品と判定する誤検出を防止することができるペットボトルのリーク検査装置を提供する。
【解決手段】メインロータ１０に設置されペットボトルの口部に係合して口部をシールするシール部材を有するとともに気体をペットボトル１内に供給する加圧ヘッド３５とを備え、加圧ヘッド３５を第１電磁弁ＥＶ１を介して圧縮空気源４３に接続し、加圧ヘッド３５と第１電磁弁ＥＶ１との間に加圧ヘッド側から第１電磁弁側への圧縮空気の流れを阻止する第１逆止弁ＣＶ１を設け、加圧ヘッド３５を第２逆止弁ＣＶ２に接続し、第２逆止弁ＣＶ２を閉止するための背圧を第２逆止弁ＣＶ２に加えるための第２電磁弁ＥＶ２を設けた。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の状態が検査精度に与える影響を抑えて被検査物表面の欠陥の検査精度を向上させることが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の表面の２次元画像２００内に含まれる画素２０１の濃度値に基づいて欠陥を識別する表面検査装置１において、２次元画像２００内から注目画素２０１Ａを選び出し、注目画素２０１Ａの濃度値を注目濃度値として取得するとともに、２次元画像２００内で注目画素２０１Ａに対して所定の位置関係にある比較対象画素群ＧＰｃの平均的な濃度値を比較対象濃度値として取得する。注目濃度値と比較対象濃度値との比較に基づいて注目画素２０１Ａが欠陥に相当するか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に存在する加工部が欠陥の有無の判別に与える影響を排除して正確な検査を実施でき、かつ処理の高速化を図ることが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の円筒状の表面に対応する２次元画像内の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する表面検査装置において、２次元画像上に出現すべき加工部の像２０３ａ〜２０３ａ、２０４を、加工部毎に別々の基準画像２１１、２１２として保持するとともに、表面の軸線方向に相当する軸線相当方向における加工部の像の位置ｙ１、ｙ２、及び表面の周方向に相当する周相当方向に関して同一の加工部の像が存在すべき個数を基準画像２１１、２１２と対応付けて保持する。基準画像、該基準画像に対応付けられた位置及び個数に基づいて、２次元画像上で欠陥判別の対象から除外されるべき領域を特定し、その特定された領域外における画素の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】固定側部材と回転側部材の摺接面（シール面）に異物が入り込んだ場合でも固定側部材と回転側部材のいずれもが摩耗してしまうことを防止し、両部材が消耗部品になってしまうことを避けることができるロータリ弁を提供する。
【解決手段】固定側部材３３と、回転側部材３６とを備え、固定側部材３３と回転側部材３６とが互いに摺接しながら相対回転することにより、固定側部材３３に形成された円弧状溝４０と回転側部材３６に形成された連通孔５２とが断続的に連通するように構成されたロータリ弁において、回転側部材３６をベアリングによって支持し、固定側部材３３をアルミナセラミックスにより形成し、回転側部材３６をカーボンセラミックスにより形成したロータリ弁である。 （もっと読む）

【課題】現合作業を行うことなく、検査ヘッドの軸線を被検査物に表面に対する所定の方向に正確に一致させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク台２に取り付けられるベース３と、ベース３に対して軸線に沿って移動する検査ヘッドとを有し、検査ヘッドを軸線ＡＸに沿って移動させつつ回転させ、被検査物１００の表面に検査光を照射し、その反射光を受光して被検査物１００の表面状態を検査する表面検査装置１において、検査ヘッドの軸線ＡＸに沿ってベース３に設けられ、保持装置２に対して軸線ＡＸを位置決めする第１のピン穴６２と、検査ヘッドの軸線ＡＸに沿って第１のピン穴６２から距離をおいてベース３に設けられ、保持装置２に対して軸線ＡＸを位置決めする第２のピン穴６３と、第２のピン穴６３の位置を軸線ＡＸと交差する方向に移動可能な位置決め手段として開口部、挿入部材及びねじを備える。 （もっと読む）

【課題】検査精度を悪化させずに、検査ロッドを長くでき、かつ高速に回転させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物１００の穴１００ａに挿入可能な検査ロッド２１と、検査ロッド２１に設けられた反射鏡２１９と、検査ロッド２１を支持する支持テーブル２２と、を備える。検査ロッド２１は、支持テーブル２２に取り付けられた基部２１１と、反射鏡２１９を保持しつつ軸線ＣＬ回りに回転可能な状態で基部２１１に取り付けられた回転ヘッド２１２とを有し、回転ヘッド２１２に設けられたインペラー２２１に空気を吹き付けることにより回転ヘッド２１２を回転させる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の微小な凹凸等を単独で欠陥として検出されるおそれを排除しつつ、その微小な凹凸等が密集している領域を欠陥又は欠陥に準じて検出する。
【解決手段】被検査物の表面を検査光で走査し、表面からの反射光の光量に応じた信号を出力する検出手段を備えた表面検査装置において、検出手段の出力信号に基づいて被検査物の表面の２次元画像を生成し（Ｓ１）、２次元画像に含まれる画素を被検査物の表面の欠陥に対応した階調の第１の画素群と欠陥に対応しない階調の第２の画素群とに区別し、第１の画素群を第２の画素群にて囲まれた範囲毎に欠陥候補部として抽出し（Ｓ３〜Ｓ５）、所定の大きさ以上の欠陥候補部を欠陥として識別し（Ｓ６）、２次元画像を所定の検査領域毎に検査し、該検査領域内における所定の大きさに満たない欠陥候補部の密集度が所定レベル以上の検査領域を欠陥領域として識別する（Ｓ７、Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】被検査物を検査するための構成を利用して動作状態を自ら判別することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】軸状に延びる検査ヘッド１６の外周から被検査物１００に向かって検査光を照射するとともに、被検査物１００からの反射光を検査ヘッド１６を介して受光し、該反射光の光量に対応した信号を出力する検出ユニット５と、検査ヘッド１６を軸線方向に移動させる直線駆動機構３０と、検査ヘッド１６を軸線の回りに回転させる回転駆動機構３０とを備えた表面検査装置１において、検査ヘッド１６が通過可能な貫通孔３７ａを有するサンプルピース３７を検査ヘッド１６の軸線方向の移動経路上に配置する。検査ヘッド１６を軸線の回りに回転させつつ軸線方向に移動させてサンプルピース３７の内周面を検査光で走査したときの検出ユニット５の出力信号に基づいて動作状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの清掃及び交換を安価で且つ容易に行うことのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】先端にミラー１８が設けられた軸状の検査ヘッド１６を駆動機構により軸線ＡＸの回りに回転させつつ軸線ＡＸに沿って移動させるとともに、検査ヘッド１６内に前記軸線ＡＸに沿って入射した検査光の光路をミラー１８により変更し、光路が変更された検査光を被検査物に照射し、被検査物で反射して検査ヘッド内１６に再度入射した検査光の光量に基づいて検査物の表面状態を検出する表面検査装置１において、検査ヘッド１６が、駆動機構に取り付けられるヘッド本体７０と、そのヘッド本体７０に対して着脱可能に設けられ且つミラー１８を保持する保持部７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの回転軸線と被検査物である円筒体の中心線とを厳密に一致させなくても、周期的な濃淡のない二次元画像を得ることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物たる円筒体１００の内部に挿入されて、軸線ＡＸ回りに回転しかつ軸線ＡＸ方向に移動しながら、ＬＤ１１から射出された検査光を内周面１００ａに投光しつつその反射光を受光する検査ヘッド１６と、検査ヘッド１６が受光した反射光の強度に応じた信号を出力するＰＤ１２と、を有し、ＰＤ１２が出力した信号に基づいて内周面１００ａに対応した二次元画像を生成する。ＰＤ１２が出力した信号から、軸線ＡＸと円筒体１００の中心線とのずれに起因した反射光の強度の揺らぎに対応する周波数成分を抽出し、その周波数成分と所定の基準値との差分に応じて検査光の強度が変化するようにＬＤ１１を制御する。 （もっと読む）