【課題】 太陽電池の出力特性の測定用ソーラシミュレータや半導体製造分野の露光装置等において、光源ランプの位置の調節を含み、照度分布測定を効率よくまた精度よく行うための方法、並びに、その方法を使用した装置を提供すること。
【解決手段】 光源の光が照射される場所の複数位置での照度を測定するために、前記場所の複数位置を各測定点としてそれぞれに照度検出器Ｃｓ０〜Ｃｓ２５を予め配置し、各測定点での照射強度を同時に測定すること。 （もっと読む）