【課題】 口部材を有さない袋状容器の漏れ検査を可能にする。
【解決手段】
漏れ検査システムは、袋状容器１００の開口に差し込まれるノズル１０と、一対のシール部材２０を備えている。一対のシール部材２０は、袋状容器１００の開口１０３にノズル１０が差し込まれた状態で、袋状容器１００の開口縁部１０３ａを挟圧することにより、ノズル１０と袋状容器１００との間をシールする。さらに漏れ検査システムは、ノズル１０に接続された圧縮エア供給経路１と、この圧縮エア供給経路１に接続された圧力センサ５および差圧センサ７を備えている。上記シール状態で、圧縮エア供給経路１からノズル１０を介して袋状容器１００に圧縮気体が供給された後、圧力センサ５，差圧センサ７により、袋状容器１００を含む圧縮エア供給経路１の閉鎖系の圧力の変動を検出して、袋状容器１００の漏れの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】圧力洩れ測定において、マスタデータの所要記憶量を減らし、かつ実際の被検査物の洩れレートを算出する際の演算量を減らして処理速度を高める。
【解決手段】洩れが無い被検査空間９ａと基準空間８ａとの間の差圧の経時変化を、各々の時間帯τ₁，τ₂，τ₃…内は一次関数になると擬制したときの、各一次関数の勾配a_M1，a_M2，a_M3…をマスタデータとして作成する（作成工程）。次に、被検査空間９ａと基準空間８ａとの間の実測差圧の経時変化の時間帯τ₁，τ₂，τ₃…ごとの勾配a_T1，a_T2，a_T3…を実測データとして求める（実測工程）。実測データから同じ時間帯のマスタデータを差し引く（演算工程）。 （もっと読む）

【課題】開口部を有する容器状のワークに対するファインリークテストの検査精度を向上させる。
【解決手段】チャンバー１０にワーク９を収容し、封止部材１３にてワーク９の開口部を塞ぎ、チャンバー１０を密閉する。排気系４０によってチャンバー１０内のガスを排気ポート１７から排気しながら、第１給気系３０によってヘリウム等の検査ガスを給気ポート１６からチャンバー１０内に供給する。好ましくは次に排気系４０を閉じる。次いで検知系２によってワーク９内のガスを吸引して、検知器２にて検査ガスの有無を検知する。好ましくは、その後、チャンバー１０内のガスを排気系２にて排気しながら第２給気系６０にてパージガスをチャンバー１０内に供給したうえで、チャンバー１０を開けてワーク９を搬出する。 （もっと読む）

【課題】開口部を有する容器状のワークをリークテストする際、その精度を長期にわたって良好に維持する。
【解決手段】リークテスタ２のシール部材１３にてワーク９の開口部９ａをシールしてリークテストを行なう。上記リークテスタ２の前段に掃除装置３を設ける。掃除装置３のブラシ３１からなる接触体をワーク９の搬送経路７上に配置する。ブラシ３１をワーク９に接触させて、該ワーク９から微塵を離す。 （もっと読む）

【課題】 容器底部のピンホールを高精度かつ短時間で検出することができる方法を提供する。
【解決手段】
台座４０を用意する。この台座４０には検圧口４５が開口するとともに、この検圧口４５を囲むようにして環状のシール部４１が設けられている。台座４０のシール部４１に容器１００の底部１０３の周縁部１０３ａまたは胴部１０１の下部外周を当接させることにより、容器底部１０３と台座４０との間に，封じられた検圧空間７０を形成する。次に、負圧源１０からのテスト圧を、検圧口４５を介して検圧空間７０に供給する。次に、負圧源１０と検圧空間７０との間を遮断した状態で、検圧口４５を介して検圧空間７０の圧力変化を検出し、この圧力変化の情報に基づき上記容器底部１０３の漏れを検出する。 （もっと読む）

【課題】洩れ検査装置において、断熱圧縮の影響を緩和し、かつ感度を高める。
【解決手段】内部に検査空間６ａを有する検査対象物６を筺体４に収容する。筺体４の内面と検査対象物６との間の囲繞空間４ａと検査空間６ａとのうち、一方の空間を真空路２０を介して真空源２によって真空引きする。囲繞空間４ａと検査空間６ａとのうち、他方の空間に加圧路３０を介して高圧気体源３からの高圧気体を供給する。そして、上記一方の空間の圧力を圧力センサ１０にて検出し、検出圧力に基づいて検査空間６ａの洩れを検査する。 （もっと読む）

【課題】感温部材にて温度補正する洩れ検査装置において、様々な検査対象物の内部空間の大きさや形状に簡単に対応可能な感温部材を提供する。
【解決手段】洩れ検査装置１の感温部材７０内の感温室７２と、検査対象物９の被検室９ａにそれぞれ高圧気体を導入し、これら室７２，９ａを互いに独立した閉鎖系とした後、被検室９ａの圧力変化を測定するとともに、感温室７２の圧力変化を測定することにより実質的に被検室９ａの温度変化のデータを得、被検室９ａの圧力変化と温度変化のデータに基づいて洩れ判定を行なう。感温部材７０を管にて構成し、好ましくは検査対象物９の内部空間の形状に合わせて巻回又は折曲する。 （もっと読む）

【課題】高圧気体の導入に伴う断熱圧縮の影響を排除ないしは緩和した洩れ検査装置を提供する。
【解決手段】検査空間６ａ内の気体を真空路２０を介して真空源２にて真空引きする（真空引き工程）。好ましくは、次に検査空間６ａの圧力を圧力センサ１０にて検出する（真空引き後加圧工程前の検査工程）。次に、高圧気体源３から高圧気体を、加圧路３０を介して上記真空引きされた検査空間６ａに導入する（加圧工程）。その後、検査空間６ａの圧力を圧力センサ１０にて検出する（加圧工程後の検査工程）。 （もっと読む）

【課題】リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、簡易かつ安価に製造可能な微小内径のキャピラリ路を有するキャピラリ部を提供する。
【解決手段】リークテスタ１のガス圧路１０にリーク量標準器２０の接続部２１ａを接続する。接続部２１ａにリーク管３０の一端を連ね、リーク管３０の他端を開放する。リーク管３０のキャピラリ部３２を、一の径方向に潰れた扁平形状にする。キャピラリ部３２の上記一の径方向と直交する巾方向の両端部にはキャピラリ路３２ａを形成する。キャピラリ部３２の巾方向の中央部の互いに対向する管壁部３２ｂどうしの間をキャピラリ路３２ａより狭隘にし、又は閉塞する。 （もっと読む）

【課題】温度補正のための感温部材を含むリークテスト装置において、差圧検出路を簡素化する。
【解決手段】検査対象１０の内部空間１１の内面と良熱伝導材料からなる感温部材６０の外面との間に被検室１３を形成する。加圧気体を被検室１３及び感温部材６０の内部の感温室６１にそれぞれ導入した後、第１、第２通路３１，３２を遮断したうえで、第２下流側開閉手段Ｖ_３６を閉じ、差圧センサ３３によって被検室１３と第２通路の被検圧部分３６との差圧Ｄ_１を検出する。また、第１下流側開閉手段Ｖ_３５を閉じ、差圧センサ３３によって感温室６１と第１通路の被検圧部分３５との差圧Ｄ_２を検出する。差圧データＤ_１を差圧データＤ_２に基づいて補正し、補正後の差圧データＤ_１に基づいて漏れ判定を行なう。 （もっと読む）