【課題】 基板２の幅に応じて、基板の搬送装置の搬送路幅を迅速且つ、確実に拡縮できるものの提供。
【解決手段】 上下一対づつの多数の搬送ローラ１、１ａが搬送方向に並列され、基板２の両端部がその搬送ローラ１、１ａ外周の基板挟持体３間に挟持されて、搬送されるものにおいて、少なくとも一方側の基板挟持体３は回転軸４の軸線方向に移動自在に被嵌され、上下一対の基板挟持体３の嵌着部５にスライドロット６が挿通され、そのスライドロット６にアクチュエータ７が連結されて、それが軸線方向に往復移動されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 搬送路１の上面側に多数の定量ノズル列２を配置すると共に、各定量ノズル列2間に吸引パイプ３を設けたエッチング装置において、基板各部のエッチングを均一に且つ高精度に行うこと。
【解決手段】 定量ノズル列２間又は並列されたそれらの上流端および/または下流端に制御ノズル列８を配置すると共に、制御ノズル列８と定量ノズル列２との間に吸引パイプ３を配置する。そして制御ノズル列８に多数の制御ノズル8aを並列させ、制御装置25及び制御バルブ14を介し、その噴射時期を制御する。夫々の吸引パイプ３は、同数のエジェクタ７の負圧部7aに連通管22により接続され、その連通管22の一端が吸引パイプ３の長手方向中央位置に接続する。 （もっと読む）