【課題】生産性の高められた積層型二次電池の製造方法を提供する。
【解決手段】電極間にそれらの電子伝導的絶縁層を形成する電池素子形成工程、当該工程で得られた電池素子の電極間の短絡を検査して短絡無しと判断された合格品と短絡有りと判断された不合格品とに仕分けする検査工程、当該工程で仕分けされた合格品を複数枚積層する積層電池素子形成工程、当該工程で得られ積層電池素子をケースに収納するパッケージィング工程を包含する。当該検査工程が、（１）初回充電前の二次電池の電極間に交流信号を印加してそのインピーダンスを測定し、複素数平面に表した正常電池および短絡電池のインピーダンスの測定結果の相違に基づき電極間での短絡の有無を判定する工程である。 （もっと読む）

【課題】細い貫通配線を有する貫通配線基板、多層貫通配線基板、その基板の製造方法およびその多層基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の貫通配線基板の製造方法は、シリコンまたは金属からなる平板部と、平板部の一方の面から平板部の厚さ方向に立設したシリコンまたは金属からなる複数の柱部と、を有する柱形成体を作製する柱形成体作製工程と、柱形成体の柱部間を樹脂またはガラスで充填する充填工程と、充填工程によって樹脂またはガラスを充填した柱形成体の両面を厚さ方向に研磨して、樹脂またはガラスによって柱部が封止され、両面に柱部の研磨面が露出した封止体を作製する封止体作製工程と、封止体の柱部の研磨面に重ねて電極を形成する電極形成工程とを備える。本発明の貫通配線基板は、この製造方法によって作製される。 （もっと読む）

【課題】微小試料台の個片化作業が容易な微小試料台集合体を提供すること。
【解決手段】シリコンウエハには、複数本の梁部３０が平行して配列され、各梁部３０の側面には、所定間隔で接続部２０を介して微小試料台１０が一つずつ保持されている。微小試料台１０は、接続部２０を折るようにして梁部３０から分離することができる。 （もっと読む）

【課題】正電極と負電極と結合の強い固体電解質を設けた積層構成において、反りや歪みやクラックを低減した薄型のリチウム固体電解質電池の提供。また、この反りを低減した構成を更に複数回積層することで、充放電容量を増したり、放電電圧を上げた高容量・高電圧の角型の薄型電池を提供すること。また、電解液を用いない固体電解質を用いることで、高信頼で安全性の高いリチウム固体電解質電池を提供すること。
【解決手段】平板状の正極集電体の両面に、正極活物質紛末と固体電解質粉末を含有する正極合材層を形成させた正極と、固体電解質層（ＳＥ）および負極集電体を順次積層して設けた固体電解質リチウム二次電池。 （もっと読む）

【課題】検出感度の向上を図ることができるセンサ素子の提供。
【解決手段】センサ素子１は、互いに逆向きに形成された第１の櫛歯電極１３２，１３３および第２の櫛歯電極１３４，１３５を有し、ベース部１４に弾性的に支持されるとともに櫛歯の凹凸方向に振動する振動部１３と、第１の櫛歯電極１３２，１３３と噛合する第３の櫛歯電極１１２，１１３を有し、ベース部１４に固定された固定部１１と、第２の櫛歯電極１３４，１３５と噛合する第４の櫛歯電極１２２，１２３を有し、ベース部１４に弾性的に支持されて外力の作用により櫛歯の凹凸方向に変位する可動部１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】櫛歯形状電極を有する静電アクチュエータを用いた角速度センサ素子の提供。
【解決手段】角速度センサ素子は、櫛歯凹凸形状の固定電極１１０と、櫛歯凹凸形状を成し、固定電極１１０の方向に振動する可動電極１２０とを備え、固定電極１１０およびと可動電極１２０は、一方の電極の凹部１２０ｂに他方の電極の凸部１１０ａが入り込むように噛合し、かつ、互いに入り込んだ凹部１２０ｂと凸部１１０ａとの間の２つの側方隙間Ｙ１，Ｙ２の大きさが互いに異なるように偏って対向配置されている。 （もっと読む）

【課題】 傾斜構造体の傾斜面を高精度で形成することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】 フォトレジスト層１０、アルミニウム膜２０およびガラス基板３０を一体で作製し、ガラス基板３０を水平面から傾斜させて中心線ＣＬ廻りに回転させながらピンホール４０ａを通して紫外光ＵＶをフォトレジスト層１０へ照射し、同心のリング状露光領域１１ａ，１２ａ，１３ａを形成する。リング状露光領域１１ａ，１２ａ，１３ａを除去し、アルミニウム膜２０に多重のリング状開口２１，２２，２３を形成した後に、ガラス基板３０側から多重のリング状開口２１，２２，２３を通して紫外光ＵＶを入射角０°でフォトレジスト層１０へ照射し、フォトレジスト層１０にリング状露光領域１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを形成し、リング状露光領域１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを除去する。 （もっと読む）

【課題】アームが物体に接触したことを感度良く検出することができるナノピンセットの提供。
【解決手段】ナノピンセットは、開閉自在な一対のアームと、開閉駆動電圧が印加され、一対のアームの少なくとも一方を開閉駆動する静電アクチュエータ６と、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振によりアームを振動させる増幅器９１と、アームの物体への接触による振動の変化を検出する振動変化検出部９３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ピンセットの基板への接触、試料の把持検出、試料の形状測定ができるピンセット付き走査型プローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡は、探針部が形成された第１のアームと、第１のアームに対して開閉自在に設けられた第２のアームと、開閉駆動電圧が印加され、第２のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振により第２のアームを振動させる増幅器９１と利得調整手段９５を有し、第２のアームの物体への接触による振動状態の変化を検出する振動状態検出部９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）