【課題】プローブユニットの位置決め精度の向上を図ることができる表面特性解析装置の提供。
【解決手段】特性計測用プローブ１２ａが形成されたカンチレバー１２を励振部５により共振させ、カンチレバー１２の振動を振動検出部６で検出し、その検出結果に基づいて試料のＡＦＭ観察を制御・演算部９で求める。そして、そのＡＦＭ観察に基づいて、４端子プローブユニット１を試料の計測位置に位置決めし、プローブ１１ａ〜１４ａを試料に接触させて電気特性を計測する。ＡＦＭ観察に基づいて位置決めされた位置で計測できるので、位置決め精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】櫛歯電極を備えた自励発振駆動機構の提供。
【解決手段】自励発振駆動機構は、直流電圧が印加された静止櫛歯電極部１１ａおよび可動櫛歯電極部１２ａを有し、可動櫛歯電極部１２ａの変位に応じて静電容量が変化する静電アクチュエータ１と、静電アクチュエータ１を発振子として有する共振回路部２０と、共振回路部２０の共振出力を帰還増幅させて自励発振させる増幅器２とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板上へ触媒微粒子の粒径と分布を均一にし、配向したカーボンナノチューブを基板上に合成するカーボンナノチューブの合成方法を提供する。
【解決手段】オクタデセンなどの末端に不飽和結合を有する直鎖炭化水素でシリコン基板を表面処理して疎水性を持たせ、この上に界面活性剤で親水性表面を形成しておくと、触媒金属化合物の極性溶媒溶液の均一塗布が容易になる。このようにして得た触媒金属化合物が塗布されたシリコン基板を、乾燥、還元後、高温化で炭素源ガスを基板上に流すことで、配向したカーボンナノチューブを合成する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームなどによるナノピンセットのチャージアップを防ぐ。
【解決手段】ナノピンセットホルダ１１のナノピンセット１にシールドカバー３００を被せる。これにより、ＦＩＢ装置使用時における装置から放射される集束イオンビーム、試料から放射される反射電子や二次電子によるナノピンセット１のチャージアップを防止する。シールドカバー３００は、表カバー３１０と裏カバー３２０とからなる。表カバー３１０および裏カバー３２０は、りん青銅などの金属材料からなる。 （もっと読む）

【課題】ナノピンセットユニット取り付け作業中のナノピンセット破損を防止することができるナノピンセット保護用治具を提供する。
【解決手段】
ナノピンセット保護用治具の取付アダプタ７０Ａにガイド溝７２Ａを設け、保護カバー８０Ａにガイド突起部８４Ａを設ける。そして、取付アダプタ７０Ａのガイド溝７２Ａに保護カバー８０Ａのガイド突起部８４Ａを嵌合させながら保護カバー８０Ａを移動することによって、保護カバー８０Ａを回転し、斜め横方向に移動することができ、保護カバー８０Ａをナノピンセットユニット１１に接触させないで外すことができる。 （もっと読む）

【課題】リフロー時の不良発生を防止するための貫通孔を形成するために別段の工程を設ける必要がない半導体装置を提供する。
【解決手段】開口部６を備えたダイパッド４ｂを金属板に形成する。ダイパッドのＡｇ層２４にダイボンディング材５を塗布し、ダイパッド４ｂの開口部６を塞ぐように半導体素子２をダイパッド４ｂに搭載する。そして、樹脂８によって封止する。樹脂封止しても開口部６は半導体素子２によって塞がれているので、開口部６には樹脂は侵入しない。樹脂８による封止が完了した後、樹脂８から金属板を剥離するとダイパッド４ｂには開口部６に半導体素子２の底面が露出し、リフロー時の不良発生を防止するための貫通孔が形成される。 （もっと読む）

【課題】論理合成を再度行うことなく、プログラマブル素子内の被検証回路及び補助回路等の動作を変更して様々な回路検証を行うことができる回路検証装置及び回路検証方法を提供する。
【解決手段】ターゲット回路２０と、ターゲット回路２０への入力信号を生成するテストパタン生成回路２５と、ＦＰＧＡ２の入力端子からの入力信号又はテストパタン生成回路２５からの入力信号のいずれかを選択してターゲット回路２０へ与えるＭＵＸ４０と、ターゲット回路２０の複数の内部信号のうちのいくつかを選択してメモリ切替部４２へ与えるＭＵＸ４１と、ターゲット回路２０の内部信号及び出力信号の値を記憶する内部メモリ４４と、ＭＵＸ４１からの信号を外部のメモリ５又は内部メモリ４４のいずれかへ与えるメモリ切替部４２と、これらの回路の動作を規定する規定値を記憶する制御レジスタ３０とを、ＦＰＧＡ２に構成する。 （もっと読む）

【課題】微小な把持力を検出することができるナノピンセット
【解決手段】ナノピンセットに設けられたグリッパ部Ｇには一対のアーム１，２が設けられており、アーム１を駆動機構３による駆動することにより、アーム１，２間に試料を把持することができる。アーム２側には駆動機構４が設けられており、櫛歯状凹凸部４０，４１間に働く静電力によりアーム２が振動駆動される。試料を把持する際にはアーム２が振動駆動され、把持時における振動振幅の変化をアドミッタンス変化として検出することにより、把持力を算出する。 （もっと読む）

【課題】差圧による破損を避けることができる圧力センサの提供。
【解決手段】静電力により櫛歯状凹凸部１１ａを有する固定部１１に対して、櫛歯状凹凸部１２ａを有する可動部１２を共振角周波数ω_０で振動させる。このとき、空気の粘性が機械抵抗として作用することにより、共振角周波数ω_０におけるアドミッタンス値｜Ｙ_０｜が変化する。その結果、検出されるアドミッタンス値｜Ｙ_０｜から圧力を計測することができる。さらに、櫛歯状凹凸部１１ａ，１２ａとは別に、可動部１２に粘性検出部を形成することで、より精度良く圧力を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の凹凸形状を検出する検出手段の光学的な位置合わせを簡便に行うこと。
【解決手段】触針式プローブ１０は、Ｘ方向に延在する厚さが薄いレバー１１と、レバー１１の先端付近に設けられる−Ｚ方向に先鋭化された探針１２とを有し、レバー１１の基部に設けられるスペーサー１３を介してガラス基板２０に固定され、レバー１１とガラス基板２０の間に、スペーサー１３の厚さに相当するギャップＧが形成されている。探針１２を試料Ｓに接触させると、試料表面の凹凸形状に応じてレバー１１が撓み、撓んだ部分のギャップＧの間隔が変化する。レーザー光源４からの照明光をガラス基板２０を通して触針式プローブ１０へ照射すると、ギャップＧに起因して干渉縞が現れ、その干渉縞のＸ方向の位置を顕微鏡２とＣＣＤカメラ３で検出することにより、試料Ｓの表面の凹凸量を測定する。 （もっと読む）