【課題】高価な金型を用いること無く、絶縁樹脂で被覆された受光装置を得る。
【解決手段】受光部１１を有する受光素子１０が配列された基板２０上に絶縁樹脂材３０ａを塗布する。受光素子１０の外形より大きいサイズの開口部６１と、開口部６１の周縁部に形成された堰止め用突起６２とを有するマスク６０を、基板２０上に配置する。マスク６０により、絶縁樹脂材３０ａを押し広げて受光素子１０の周縁部および基板２０の上面を被覆する絶縁樹脂３０を形成する。受光素子１０の各側面により絶縁樹脂材３０ａが堰き止められ、絶縁樹脂材３０ａの流動のばらつきが小さくなるため受光装置の小型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の金属薄片間の電導性と機械的強度を確保した金属薄片積層体を提供する。
【解決手段】複数の金属薄片が積層された金属薄片積層体に形成された貫通孔と、
該貫通孔内の金属露出面を高エネルギー線で溶接することにより金属薄片間の電導を確保した電導性が改善された金属薄片積層体およびその製造方法、並びに内面を溶接された貫通孔内にリベットを挿通しカシメ接合した金属薄片積層体。
【効果】金属薄片の表面が有機物により汚染されていても、電導性と機械的強度の確保された金属薄片積層体を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】大きな電荷密度を長期間維持することが可能なエレクトレット膜と、このエレクトレット膜を備えた小型で高出力な立体型櫛歯電極構造を持った振動発電素子を提供する。
【解決手段】
本発明によるエレクトレット膜は、Ｓｉ基板の上に、このＳｉの基材に接するように設けられた第１のＳｉＯ_２層と、第１のＳｉＯ_２層の上に、この第１のＳｉＯ_２層に接するように設けられたイオン不透過膜と、イオン不透過膜の上に、このイオン不透過膜に接するように設けられた第２のＳｉＯ_２層とを備え、第１のＳｉＯ_２層にアルカリイオンを含有している。 （もっと読む）

【課題】分析時におけるバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能な微小試料台を提供すること。
【解決手段】微小試料台１００は、半導体基板よりなる微小試料台基部１０の一面に成膜により一体化された微小試料搭載用薄膜２０を有する。微小試料台基部１０はＶ字形状の溝１１を有し、微小試料搭載用薄膜２０は溝１１の上面と溝１１の最深部との間に設けられた上端面２１を有する。Ｖ字形状の溝の両側面は（１１１）面である。微小試料台基部１０の上面１３と微小試料搭載用薄膜２０の上端面２１との間の部分が微小試料７０のガード部となる。 （もっと読む）

【課題】 微小検体を基台に移す際、静電気による吸着力、原子間力または分子間力等に打ち克って確実に基台上に固定する。
【解決手段】 上面１１が親水性を有する基台１０上に、開口部３１を有する撥水膜３０を形成する。加熱冷却ステージ２０を冷却モードにして基台３０を冷却すると開口部３１内に水滴１１０が結露する。微小検体１１２を水滴１１０の近傍に移動すると、メニスカス力により微小検体１１２が水滴１１０に取り込まれる。この後は、加熱冷却ステージ２０を加熱モードに切り換え、水滴１１０を揮発させると、水滴１１０の凝集力により微小検体１１２が基台１上に固定される。 （もっと読む）

【課題】指向性および耐久性に優れた指向性マイクロフォンの提供。
【解決手段】指向性マイクロフォンは、中央部に空所を有するベース３１と、櫛歯電極３２２，３２３が形成されている振動板３２と、振動板３２をベース３１の空所上においてベース３１に支持するブリッジ１１と、ベース３１に保持された複数の分割電極２３Ａ〜２３Ｄで構成され、櫛歯電極３２２，３２３と空隙を有して噛合する櫛歯電極２３２，２３３が分割電極２３Ａ〜２３Ｄの各々に形成されている固定電極と、を備え、ブリッジ１１は、振動板３２が音源方向に応じて変位して、櫛歯電極２３２，２３３に対する櫛歯電極３２２，３２３の位置が変化するように振動板３２を弾性支持する複数の弾性部１２を有し、振動板３２、ブリッジ１１および固定電極（２３Ａ〜２３Ｄ）をＳＯＩ(Silicon on Insulator)基板の同一Ｓｉ層により形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高価な金型を用いること無く、絶縁樹脂で被覆された受光装置を得る。
【解決手段】受光部１１を有する受光素子１０が配列された基板２０上に絶縁樹脂材３０Ａを塗布する。受光部１１に対応する開口部６１と、開口部６１の周縁部に形成された堰止め用突起６２とを有するマスク６０を、基板２０上に配置する。マスク６０により、絶縁樹脂材３０Ａを押し広げて受光素子１０の周縁部および基板２０の上面を被覆する絶縁樹脂３０を形成する。絶縁樹脂３０には、開口部３１と、開口部３１の上部周縁部に凹部３２とが形成される。 （もっと読む）

【課題】引出し電極に接続される側面電極を有する光半導体素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、ガラス基板３上にフリッチップ実装された光検出半導体素子２を封止した樹脂８の側面に側面電極６を有している。側面電極６は、所定ピッチの電極パターンを有する金属薄膜３２を形成し、その後、金属薄膜３２の表面にメッキ層を堆積して形成される。たとえば、樹脂８の側面にレジスト３１を塗布し、塗布したレジスト３１を露光し、露光したレジスト３１を現像し、側面に金属薄膜３２を形成する。その後、レジスト３１を除去し、金属薄膜３１上にメッキ膜６を形成して側面電極を設ける。 （もっと読む）

【課題】部分グレーズ層上に形成された発熱抵抗体の絶縁性保護膜の摩耗を抑制するサーマルヘッドを提供する。
【解決手段】セラミック基板１上の長手方向に設けた部分グレーズ層２上に発熱抵抗体３、発熱抵抗体を含む表面全体を絶縁性保護膜４で覆う。発熱抵抗体上の絶縁性保護膜４ａと部分グレーズ層２の領域外の絶縁性保護膜の平坦部４ｂとが段差ｔを有する。段差は、発熱抵抗体上の絶縁性保護膜が高く、且つ、プラテンローラが、発熱抵抗体上の絶縁性保護膜と部分グレーズ層の領域外の平坦な絶縁性保護膜において感熱紙を押圧できる段差にする。これによってプラテンローラの押圧力を分散できる。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板上の異物を確実に除去することができる基板検査装置の提供。
【解決手段】基板検査装置１は、マスク１１６、複数の粘着性粒子が離脱可能に設けられた剥離シート２０、および粘着部材２２が装着されるマスクホルダ１１７と、マスクホルダ１１７に対してマニピュレータ（例えばナノピンセット１０）と検出部４１とが設けられた検出ヘッド１１３を相対移動させる移動手段である鉛直方向駆動機構１２３および水平方向駆動機構１２４と、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、剥離シート２０に設けられた複数の微小吸着粒子のいずれか一つをマニピュレータで保持して離脱させ、微小吸着粒子を保持したマニピュレータを異物の位置へ移動し、異物を粘着性粒子に付着させてマスク１１６から除去し、異物が付着した微小吸着粒子を粘着部材２２に付着させて移送する。 （もっと読む）