【課題】ダイヤフラムの取付作業が容易で、コストが低廉な流量調整装置を提供することである。
【解決手段】ダイヤフラム及びケース体を具備する流量調整装置であって、前記ダイヤフラムは、その端部に、ｏリング部を具備し、前記ケース体は、その内壁部に、前記ｏリング部が嵌合する凹部を具備し、前記凹部に前記ｏリング部が嵌合され、前記ダイヤフラムと前記ケース体内壁とによって室が構成されてなり、前記ケース体は、前記室に対する流体の供給・排出を行う為の孔を具備する。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ、流量制御の応答性が優れた流量制御装置を提供することである。
【解決手段】力が作用することによって変形する変形可能部を有する流体通路と、前記流体通路の前記変形可能部に、異なる方向から、力を作用させる力作用手段とを具備してなり、前記力作用手段は、チャンバ１０、１３と、該チャンバ１０、１３の少なくとも一部を構成する膜９，１２と、前記チャンバ１０、１３内の圧力を制御する圧力制御手段とを具備してなり、前記圧力制御手段による前記チャンバ１０、１３内の圧力変動による前記膜９，１２の変形によって、前記流体通路の前記変形可能部３には、異なる位置で、変形が起きるよう構成されてなり、前記流体通路の前記変形可能部３の変形度によって該流体通路を流れる流体の流量が制御される流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】トルクチューブの捩れ力に対してばねの付勢力を調整して、センタシャフトに逆方向の付勢力を加えて温度補償を実現する。
【解決手段】回動基板３０は付勢力調整機構３１の係止部３３により時計廻りの回動が規制され、付勢力付加アーム２９を介してコイルばね３４ａ、３４ｂにより反時計廻りの捩れ力を加え、センタシャフトに連結した連結ロッド２５にトルクチューブの捩れ力と逆方向の付勢力を加える。この付勢力は、ねじ軸３２を回転させて係止部３３を移動して、回動基板３０の回動規制部３０ａによりばね掛け部３０ｂ、３０ｃの回動停止位置を調整することにより、コイルばね３４ａ、３４ｂにより与えられる。この調整は、センタシャフトに連結した連結ロッド２５の回転量がトルクチューブの捩れ力と平衡するように、つまりセンタシャフトに連結した連結ロッド２５による検出角度が０となるように行う。 （もっと読む）

【課題】温度変化による影響を受ける要因を演算により除去し、正確な角度測定を実施する。
【解決手段】シャフト１２のＶ字溝１４の両斜辺は中線Ｎを中心にその両側に角度±φだけ傾斜し、両斜辺にホール素子のセンサ１５ａ、１５ｂを取り付ける。一様な磁束密度Ｂの磁界内において、シャフト１２を角度θ回転させると、センサ１５ａ、１５ｂの出力Ｖａ、Ｖｂは、Ｋａ、Ｋｂをホール係数、ｄａ、ｄｂを厚み、供給電流をＩとすると、Ｖａ＝(Ｋａ／ｄａ)・Ｉ・Ｂ・sin（φ＋θ）、Ｖｂ＝(Ｋｂ／ｄｂ)・Ｉ・Ｂ・sin（φ−θ）、（Ｖａ−Ｖｂ）／（Ｖａ＋Ｖｂ）＝（cosφ・sinθ）／（sinφ・cosθ）＝tanθ／tanφとなり、tanθ＝tanφ・（Ｖａ−Ｖｂ）／（Ｖａ＋Ｖｂ）となり、tanθはＫａ、Ｋｂ、ｄａ、ｄｂ、Ｉ、Ｂに無関係に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】センサ素子が周囲温度の影響を受けて変位し難くし、微小変位を精度良く検出できるようにする。
【解決手段】シャフト１１の形成した切削面１６に、ホール素子１２の表面の平担部が密着するように接着剤により接着し、回路基板１３をリードフレーム１４により中空に支持する。このような構造により、リードフレーム１４や半田１５に熱膨張があっても、或いは回路基板１３が変形しても、ホール素子１２がシャフト１１に対して変位することなく、シャフト１１の回転角の測定精度に及ぼす影響は少ない。 （もっと読む）

【課題】ホール素子に発生するオフセット電圧値を周囲温度に従って除去し、微小角度の測定精度を向上させる。
【解決手段】ホール素子から成る角度検出用センサ１５は磁束密度検出面であるチップ面Ｔが、磁束方向と平行になる場合をθ＝０となるように配置されている。センサ１５の出力Ｖには、定電流Ｉを供給することで、角度変位θと無関係で内部抵抗に起因するオフセット電圧値Ｏ１が発生し、出力Ｖに重畳している。
オフセット電圧値Ｏ１を得るためには、オフラインにおいてセンサ１５に無磁界状態で定電流Ｉを供給しながら温度Δｔを変化させて、出力Ｖのデータを求める。データから温度Δｔに対するオフセット電圧値Ｏ１のテーブルを作成する。
角度測定中では、周囲温度を測定し、オフセット電圧値Ｏ１を記憶したテーブルから求め出力Ｖから差し引けば、オフセット電圧値Ｏ１が除去される。 （もっと読む）

【課題】 画像センサから被写体となるフロートまでの距離を短縮して小型化を可能とし、フロート位置に対する精度の良い電気信号出力を得る。
【解決手段】 透光性材料から成るテーパ管１３が鉛直方向に向けて配置され、テーパ管１３内にはフロート１４が挿入されている。テーパ管１３の長手方向に沿って照明手段１５が配置され、テーパ管１３の側方には、複数組の光学レンズ１６、画像センサ１７から成る画像センサユニット１８が配置されている。複数組の画像センサユニット１８を設けることにより、フロート１４の検出範囲が長手方向に分担され、画像センサ１７とテーパ管１３との距離が短縮される。画像センサ１７で得られたフロート１４の像の位置を基に、テーパ管１３に対するフロート１４の位置を求め、流量を検出できる。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子に起因する温度ドリフトを低減する。
【解決手段】被測定流体Ｓが流れる管路１の両端に一対の超音波振動子２、３が配置されている。それぞれの超音波振動子２、３には同軸ケーブル４、５が接続されており、それぞれ電気的な損失を発生する素子であるアッテネータ６、７を介して、変換器８に接続されている。
伝送線路である同軸ケーブル４、５に、損失を生ずるアッテネータ６、７を挿入することで、インピーダンスのミスマッチの程度を小さくでき、変換器８から超音波振動子２、３を見たときのインピーダンス変化が低減するので、超音波振動子２、３の温度変化による特性変化が原因となる信号の伝送時間の変化を低減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザー光による加熱により、フッ素樹脂から成るダイアフラムとハウジングとが一体となり、シール機能の信頼性を増大する。
【解決手段】下ハウジング１２、ダイアフラム１３を非溶融性フッ素樹脂のブロック材から切削により形成している。そして、ダイアフラム１３のフランジ部１３ｂと下ハウジング１２のフランジ部１２ａとの間に、熱可塑性フッ素樹脂による円環状の溶融樹脂シート２４を挟着し、ダイアフラム１３の上に吸熱材１９を載置し、治具により固定する。吸熱材１９側から加熱用レーザー光を照射すると、ドット２５で示すように溶融樹脂シート２４が溶融して、フランジ部１２ａとフランジ部１３ｂとを接着する。また、レーザー光Ｌの照射中に吸熱材１９はダイアフラム１３の上面から熱を吸収して、ダイアフラム１３の変質を防止する。 （もっと読む）

【課題】
圧電素子の駆動周波数を共振周波数に一致させて測定精度の向上を図る。
【解決手段】流量測定の終了と開始までの間に、圧電素子２、３の共振周波数を電流測定回路１６又は（及び）電圧測定回路１７で得られた信号を基に測定し、次の流量測定に際して圧電素子２、３を駆動する駆動周波数を得られた共振周波数に一致させる。 （もっと読む）