説明

アイバイツ株式会社により出願された特許

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【課題】有機媒体との相溶性が高く、熱および求核試薬に対して安定な、光酸発生剤としての性能を有する化合物を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表されることを特徴とする化合物;


(式(1)中、R1は置換もしくは非置換のアルキル基等を表し;R2は水素原子、または置換もしくは非置換のアルキル基等を表し;X1はアルキル基またはアルコキシ基を表し;X2はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、またはアルコキシ基等を表し;pは1〜4を表す。) (もっと読む)


【課題】光照射により塩基性を発現または増大する光塩基発生剤と、アニオン性樹脂とを含有する光硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】シクロプロペノン環を有するアミン、好ましくは下記式(1)で表される化合物である光塩基発生剤(A)と、アニオン重合性樹脂(B)とを含有する光硬化性樹脂組成物。
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【課題】特定の1,3−ジチアン類を原料とするアシルシランの製造方法であって、環境汚染物質を排出しないアシルシランの製造方法を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表される化合物を、ニオブ(V)化合物−ヨウ化物触媒と過酸化水素とを用いて脱チオアセタール化反応させることにより、下記式(2)で表されるアシルシランを製造することを特徴とするアシルシランの製造方法;


(式(1)および(2)中、Rは置換もしくは非置換の芳香環、または置換もしくは非置換のアルキル基を表し、R1〜R3はそれぞれ独立に、置換もしくは非置換の芳香環、または置換もしくは非置換のアルキル基を表す。) (もっと読む)


【課題】例えば光酸発生剤として使用することができる、新規な化合物を提供すること。
【解決手段】本発明の化合物は、式(1)で表される;


式(1)中、R1は、水素原子、−OCH2CH2OHまたは−CH2CH2CH2OHのいずれかを示し、R2は、水素原子または−OCH3を示す。R3は、ベンゾキノン、ナフトキ
ノン、アントラキノンおよびこれらの誘導体のいずれか誘導される一価の基である。 (もっと読む)


【課題】新規な光酸発生剤を提供すること。
【解決手段】下記式(I)および(II)のいずれかで示される光酸発生剤:p、q、rは2つの橋頭位炭素間を結ぶ炭素鎖の長さをそれぞれ独立に示し、pは1〜3、qは0〜3、rは1〜2の整数である。
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【課題】 レジスト材料の保管時のような比較的マイルドな条件下では、プロトンと反応して、暗反応を効率的に防止でき、かつ露光時には、プロトンとフォトレジスト用重合体との反応を阻害しない、適度な反応性を有するプロトン中和剤として用いることができる、新規化合物、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明に係るアミノ化合物は、特定の1,1−ジメチルプロピルオキシカルボニル基含有化合物であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】新規な光酸発生剤を提供する。
【解決手段】下記式(I):(式中、Rは、アルキル基、フッ素置換アルキル基などを示す。 Xは、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、分子内もしくは分子間のX同士で連結したポリメチレン基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、ハロゲン原子またはシアノ基を示し、それぞれ同一または異なっていてもよいが、−OSO2R基のβ位の炭素原子に結合しているXのうち少なくとも1つは水素原子である。 p、q、rは2つの橋頭位炭素間を結ぶ炭素鎖の長さをそれぞれ独立に示し、pは1〜3、qは0〜3、rは1〜2の整数である。)で表される化合物。
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【課題】
光反応性高分子材料および各種化学製品の原料として有用な新規エスクレチン誘導体を提供すること。
【解決手段】
下記式(I)で示されるエスクレチン誘導体。
【化1】


(式中、R1およびR2はそれぞれ独立に、水素原子、(メタ)アクリロイル基、アルキル基、アシル基、アラルキル基またはアルコキシカルボニル基であり、R1およびR2の少なくとも一方は(メタ)アクリロイル基である。) (もっと読む)


【構成】 iso-プロペニルオキシカルボニル基と、該iso-プロペニルオキシカルボニル基と反応しうる官能基とを有する化合物と、光照射または電離放射線照射により酸を発生する化合物とからなるパターン形成材料を被処理基板上に塗布した後に乾燥し、次いで、iso-プロペニルオキシカルボニル基と、該iso-プロペニルオキシカルボニル基と反応しうる官能基とが反応しうる温度に加熱して架橋型レジスト膜を作り、該レジスト膜に光または電離放射線をパターン状に照射した後に、アルカリ性水溶液で現像することを特徴としている。
【効果】 本発明によれば、高コントラスト・高感度でポジ型レジストを形成することが可能になる。 (もっと読む)


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