【課題】効率的かつ高精度で試料をその特性によって分別する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】試料の反射光を検出して該試料における反射光の強さの分布に関するヒストグラムを作成する第１ステップと、
前記第１ステップで作成した前記ヒストグラムを解析して前記試料の特性を判別する第２ステップと、
を備える光学方式特性判別方法である。 （もっと読む）