【課題】簡単な構成で容易に板状被研削物を均一な厚さに研削する。
【解決手段】研削砥石２７がチャックテーブル１０の回転中心Ｘ上に載るようにチャックテーブル１０の回転中心Ｘと研削ホイール２５の回転中心Ｙとをオフセットして配置する。第１のエアーベアリング１３に１対のチャック側圧力ポートを設け、第２のエアーベアリング２６に１対の砥石側圧力ポートを設ける。第１のエアーベアリング１３のハウジング１２は、ウェーハ９の研削砥石２７に対する当たり面の傾斜角を調整可能に構成する。１対のチャック側圧力ポートと１対の砥石側圧力ポートとで検出した圧力差Ｐ_AC、Ｐ_BWに基づいて、第１のエアーベアリング１３のハウジング１２を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】装置及び工程を複雑にすることなく、簡単な方法で研削痕が発生するのを防いで良好な研削面を得る。
【解決手段】研削砥石２７（研削手段）を回転させる砥石軸２１（第１回転軸）の回転数をウェーハ９（被研削物）を回転させるチャック回転軸１５（第２回転軸）の回転数で割った回転数比が整数倍とならないように、チャック回転軸１５の回転数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】回転ブラシの棒状部材に加わる荷重を均一にして、角部のバリ取りや面取りを容易にばらつきなく行う。
【解決手段】ワーク１外周の形状に沿ってワーク１の外方へ所定の水平隙間１１が設けられると共に、回転ブラシ３０の回転軸８の軸心方向に対してワーク１と同じ高さ若しくはワーク１よりも若干低くなるように研磨用治具１０をワーク１の周囲に配置し、回転する回転ブラシ３０の棒状部材３３の先端をワーク１及び研磨用治具１０の表面に当接させ、ワーク１外周と研磨用治具１０との水平隙間１１に挿入された棒状部材３３の側面をワーク１表面の角部５に当接させ、角部５を丸めながら、ワーク１の表面に沿って回転ブラシ３０を相対移動させる。 （もっと読む）

【課題】 切刃の円周振れを伴わないダイヤモンド砥石を提供する。
【解決手段】 ホイールベース２の端面に角柱ダイヤモンドチップが並び、これらチップにより砥石本体３が形成される砥石車１を次ぎの手順で製作する。まず、先端が平坦な複数のチップを周方向に隙間なく並べてこれらチップをホイールベース２に固着することにより砥石本体３を構成し、この砥石本体３の先端（砥石面４）に、前記回転中心から法線状に延び、かつ周方向に等ピッチで並ぶ複数の溝を形成する。そして、砥石本体３の内周面を回転中心と同心の円に沿って内面研削することにより、砥石面４の内周縁に周方向に等間隔で並ぶ切刃を成形する。 （もっと読む）

【課題】 ターゲット表面に、広い範囲で高いイオン密度のプラズマを形成し、更に高いイオン密度のプラズマを無駄なく、効果的に基板まで移動させ、成膜することを狙ったものである。
【解決手段】 基板上に膜を形成するための多重磁極マグネトロンスパッタリング成膜装置であって、上記ターゲットの裏面中央部に一方の磁極からなる中心磁石が配設され、上記ターゲットの裏面円周方向周囲に他方の磁極からなる複数の外周磁石が配設され、上記ターゲット表面の円周方向外側位置に第１外部磁石及び第２外部磁石が配設され、上記ターゲットと上記基板とを結ぶ方向を軸としてコイルが巻回され、上記コイルに高周波電力が付与され、上記ターゲット及び上記基板間に電力が印加され、ターゲットから膜材料粒子が放出され、基板に成膜される。 （もっと読む）

【課題】 断熱性が高く、キャビティへの充填初期及び充填末期おいても所定温度を維持でき、樹脂の流動性に優れ、成形面の転写性に優れた金型を提供すること。
【解決手段】 金型成形面の母材側には無電解めっき層が形成され、前記金型成形面の成形面側にはアモルファス炭化珪素膜からなる表面層が形成されており、前記アモルファス炭化珪素膜中のＳｉ含有量が６０重量％以上であることを特徴とする樹脂成形用金型。 （もっと読む）

【課題】 内径の異なる複数のボアについて、単一のホーニングヘッドを使用して順次適切にホーニング加工を行うこと。
【解決手段】 本発明のホーニング加工方法は、ヘッド周面１ａにて出退動可能な砥石４を有するホーニングヘッドＨを、ワークＷの第１ボアＢの内部にて回転駆動しつつ、砥石４を研削送り出し駆動することにより、第１ボアＢの表面を研削加工する第１工程と、この後に、第１ボアＢとは異なる初期直径を有する第２ボアＢの内部にてホーニングヘッドＨを回転駆動しつつ、砥石４を研削送り出し駆動することにより、第２ボアＢの表面を研削加工する第２工程とを含む。第１工程において研削送り出し駆動を開始する時の、第１ボア表面および砥石先端の間の第１開始距離と、第２工程において研削送り出し駆動を開始する時の、第２ボア表面および砥石先端の間の第２開始距離とは、異なる。 （もっと読む）

【課題】 砥石車の偏摩耗を抑えながら精度良く研削加工を進める一方で、加工負荷を効果的に抑える研削加工方法を提供する。
【解決手段】 軸線方向に鈍角をなして並ぶ複数の面（テーパ面Ｗａ，ストレート面Ｗｂ）を内周面にもち、かつこれら複数面のコーナーＷｃが円弧からなるワークＷの内面研削方法。前記複数の面の面角度にそれぞれ対応する単位砥石面３０ａ，３０ｂをもち、かつこれら複数面のコーナー３１の断面がワークＷのコーナーＷｃより半径の小さい円弧からなる砥石３を砥石軸３ａに組付け、ワークＷのテーパ面Ｗａ、コーナーＷｃおよびストレート面Ｗｂに沿って砥石３を軸線方向に移動させながら、まずテーパ面Ｗａを砥石３の第１単位砥石面３０ａを使って研削し、コーナーＷｃを砥石３のコーナー３１を使って研削し、さらにストレート面Ｗｂを砥石３の第２単位砥石面３０ｂを使って研削するようにした。 （もっと読む）

【課題】 オープンデッキ型のシリンダブロックにおけるシリンダボアの真円度を高める。
【解決手段】 Ｖ型６気筒エンジンのシリンダブロック１の各バンク１ａ，１ｂにそれぞれ鋳込まれる３つのシリンダライナ３のうち、真中のシリンダライナ３にホーニング加工を施すことにより第２シリンダボア（又は第３シリンダボア）を形成する。この際、シリンダライナ３の先端部分をクランプアーム３６により外側からクランプすることによりシリンダライナ３をその配列方向に圧縮し、さらにシリンダボア２の真円度測定を行うときの作業温度よりも高い温度に温調されたクーラントをノズル１８からシリンダライナ３に供給しながらホーニングヘッド１６により当該シリンダライナ３の内周面を加工する。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡便な装置を用いて、安全かつ確実に殺菌を行うことができる低温殺菌法を提供する。
【解決手段】 ガスボンベ（ガス供給源）８と、ガスボンベ８から供給されたガスを励起して、高エネルギー粒子を含む温度非平衡状態のガスを発生させる高エネルギー粒子発生部１〜３と、高エネルギー粒子発生部１〜３で発生した温度非平衡状態のガスを外部の病原微生物に噴射させるガス噴出部４を備える。 （もっと読む）