【課題】ワーク切断部間でのワイヤ張力の調整をより応答性良く行う。
【解決手段】ワイヤソーは第１、第２のワーク切断部１Ａ，１Ｂを有する。各ワーク切断部１Ａ，１Ｂの各々一対のガイドローラ１０ａ，１０ｂにはワイヤＷが巻回され、これによりワーク切断用のワイヤ群が形成されている。ワーク切断部１Ａ，１Ｂの間にはワイヤＷの張力を検出するテンションゲージ１８が設けられ、コントローラ５０は、テンションゲージ１８による検出張力に基づき、当該張力が許容値を外れている場合には、ワーク切断部１Ａ，１ＢのうちワイヤＷの走行方向下流側に位置するワーク切断部１Ａ（又は１Ｂ）のガイドローラ１０ａ，１０ｂの回転速度を所定速度だけ変更する。 （もっと読む）

【課題】ウエハから矩形（長方形）のチップを精度よく、しかもコンパクトな装置構成で切り出す。
【解決手段】ワイヤソーは、ガイドローラ１０Ａ，１０Ｂ間に張設されるワイヤ群としてワイヤピッチが互いに異なる第１、第２のワイヤ群３Ａ，３Ｂを有する。制御装置３０は、ワーク保持部２４により保持したウエハＷを第１ワイヤ群３Ａに対向する位置に配置して切り込み送りする工程と、第１ワイヤ群３ＡからウエハＷを引き離してウエハＷを９０°回転させると共に当該ウエハＷを第２ワイヤ群３Ｂに対向する位置に配置する工程と、第２ワイヤ群３Ｂに対してウエハＷを切り込み送りする工程と、第２ワイヤ群３ＢからウエハＷを引き離して搬出する工程とを、順次実行すべくヘッド２０等を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な電極構造で放電加工を効率良く実施する。
【解決手段】砥石加工装置は、テーブル１０上に支持した砥石Ｓと電極集合体２２との間に高周波電源３０により電圧を印加してコロナ放電を発生させることにより砥石Ｓを加工する。電極集合体２２は、複数本のいわゆる被覆電線２３が並列かつ一列に配列されると共に先端部分が一体に固定され、前記複数本の導体のうち一本が各被覆電線２３の先端側に所定長だけ突出して設けられることにより当該一本の導体の先端部分からなる複数の電極２２ａが前記被覆電線２３の配列方向に一列に設けられたものであり、各被覆電線２３が高周波電源３０に並列接続されることにより各電極２２ａと砥石Ｓとの間にコロナ放電を発生せるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室を囲むリングの弾性変形による押しのけ容積の変更が可能であり、かつ、当該弾性変形にかかわらず安定した性能を確保することが可能な可変容量型ベーンポンプを提供する。
【解決手段】ベーンポンプは、ベーン１４を保持して回転するロータ１２と、その周囲に設けられる内側リング１６と、これを外側から支持する外側保持部材１８と、容量操作装置２２とを備える。内側リング１６は、ロータ１２との間にポンプ室を画定する内周面１６ａを有し、この内周面１６ａは、内側リング１６が無変形の状態で押しのけ容積が最大となる偏平な形状を有する。容量操作装置２２は、内側リング１６を変形させてその偏平度合いを下げることにより、押しのけ容積を減少させる。 （もっと読む）

【課題】放電加工を利用した砥石の加工（目立て）を大気圧下において安定的に、しかも簡単かつ安価な構成で実施する。
【解決手段】砥石加工装置は、テーブル１０上に支持した砥石Ｓと本電極２２との間に高周波電源３０により電圧を印加してコロナ放電を発生させることにより砥石Ｓを加工する。この装置は、ダミー砥石Ｓｄに対向する予備電極２４と、本電極２２に流れる電流の値を検出する電流計３８と、予備電極２４と高周波電源３０との導通状態を切替えるスイッチ３６と、電流計３８の検出値に基づきスイッチ３６を切替え制御する制御装置３４とを有する。制御装置３４は、電流計３８の検出値がアーク放電発生レベルよりも低い所定の電流値に達すると予備電極２４と高周波電源３０とを導通状態とし、それまでは予備電極２４と高周波電源３０とを非導通状態とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの切り出しをより精度良く行えるようにする。
【解決手段】ワイヤソーは、ワイヤ群１２に供給されることにより飛散したスラリを捕集する加工液捕集装置を有する。この装置は、スラリを捕集するための捕集部材１６ａ，１６ｂと、これら捕集部材１６ａ，１６ｂをワイヤ群１２の上方であってその近傍となる高さ位置に配置しかつワイヤ群１２の走行方向に変位可能に支持するガイド軸２２等と、捕集部材１６ａ，１６ｂを駆動する油圧シリンダ２４と、捕集部材１６ａ，１６ｂがワークＷに対して所定の間隔を隔てた位置に配置されるようにワークＷの切り込み送りの位置に応じて前記油圧シリンダ２４の駆動を制御する制御手段（ＮＣ装置４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの張力を所定の目標張力に近付けるための張力調節装置を利用して巻取側のワイヤの張力のみを有効に低減しながら効率よくかつ高精度でワークの切断を行う。
【解決手段】ワイヤソーにおいて、ワイヤＷを前進させながらワーク２８を切断する前進駆動切断工程と、ワイヤＷの駆動方向を反転させるための第１の切換工程と、ワイヤＷを後退させながらワーク２８を切断する後退駆動切断工程と、ワイヤＷの駆動方向を反転させて前記前進駆動切断工程に復帰するための第２の切換工程とを順に繰り返す。前記両切断工程では張力操作装置１８Ａ，１８Ｂを用いて巻取り側のワイヤ張力のみ下げる。そのためのワイヤ目標張力の低下は各切換工程においてワイヤＷの減速が終了してから行う。 （もっと読む）

【課題】少ないスペースに複数のクランプアームを旋回可能に配置できるようにする。
【解決手段】クランプ機構は、第１，第２のクランプアーム３１，３２を有する。このクランプ機構では、第１クランプアーム３１を駆動する第１ロッド１１の外周面上に第２クランプアーム３２を駆動する第２ロッド１２が位置するように両ロッド１１，１２が同心円状に相対回転可能に配置されている。そして、これらロッド１１，１２の内外の同一部分にガイド穴１１１，１２１が形成され、これらガイド穴１１１，１２１に対して共通のガイドピン２４が第２ロッド１２の外側から挿入されている。この構成により、両ロッド１１，１２がガイドピン２４に対して相対的に軸方向に移動するとガイド穴１１１，１２１に沿って両ロッド１１，１２が回転し、この回転に伴い各クランプアーム３１，３２が旋回する。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの固定が容易で且つダメージを与えることなく回収することが可能なマイクロアレイ用基板を実現できるようにする。
【解決手段】マイクロアレイ用基板は、基材１１と、基材１１の上に規則的に配置された複数のターゲット固定領域１２とを備えている。ターゲット固定領域１２は、炭素質膜１３とその表面に形成されたプラズマ処理層１３Ａとを有している。プラズマ処理層１３Ａは、炭素質膜１３を構成する炭素と結合したイオン性の官能基を有している。 （もっと読む）

【課題】血管内皮細胞の増殖性を選択的に向上した内皮細胞増殖性材料を実現できるようにする。
【解決手段】内皮細胞増殖性材料は、基材３１の表面に形成され、炭素が互いに結合して形成された膜本体３２と、膜本体３２の表面に形成され、膜本体３２を形成する炭素と結合した窒素及び酸素とを有するプラズマ処理層３２Ａとを備えている。プラズマ処理層３２Ａにおける窒素の酸素に対する比率は、０．３以上である。 （もっと読む）