【課題】 ハーフトーンマスクの製造が容易で多大な設備投資を必要としないハーフトーンブランクスを提供する。
【解決手段】 透明基板１上に、半透過膜２、エッチングストッパー膜３、遮光膜４が順次形成されている。エッチングストッパー膜３は、遮光膜４をエッチングする際にエッチングが半透過膜２まで進行しないようにするものである。遮光膜４はクロム又はクロム化合物で形成されている。エッチングストッパー膜３は、アルミニウムを主成分とする膜であり、にシリコン又はチタンが少量添加されている。 （もっと読む）

【課題】 波長に対して依存性の無いハーフトーン特性を有するハーフトーンマスクを容易に製造することが可能なハーフトーンブランクスを提供する。
【解決手段】 透明基板１上に、半透過膜２、エッチングストッパー膜３、遮光膜４が順次形成されている。エッチングストッパー膜３は、遮光膜４をエッチングする際にエッチングが半透過膜２まで進行しないようにする。遮光膜４及び半透過膜２はクロムより成る膜である。半透過膜２は、ハーフトーン露光を行うための所定の半透過特性が得られるよう遮光膜４より薄い厚さで形成されている。半透過膜２は、アルゴン５０％、炭酸ガス５０％の混合ガス雰囲気中でクロム製のターゲットをスパッタすることにより作成されている。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランクス又はフォトマスク等の基板を収納するものであって、収納した基板に塵埃が付着するのを防止できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】 基板収納ケース１が、ケース本体２とケース蓋体３とからなり、ケース本体２の開口縁に、ケース蓋体３と嵌合する薄肉案内縁２２が形成されている。薄肉案内縁２２に負圧緩和手段１０が設けられ、ケース蓋体３の開口部内側に、ケース本体２と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段１１を設けられている。負圧緩和手段１０は通気口である。塵埃抑止手段１１はケース本体２と異なる硬度の材質により形成された硬質テープである。 （もっと読む）

【課題】 液晶用マスクブランクスなどで代表される大型基板を損傷しないように搬送できる基板ケースを提供すること。
【解決手段】 第１のケース本体１と第２のケース本体２を接合して内部に基板１００が収容できる空間を形成する。基板１００は基板押え具（１０）及び基板固定具２０に挟持し、第１及び第２のケース本体１，２の錠金具３を施錠して固定する。基板固定具２０の第１ボックス２１には、ケース内に向って出没自在に突出させた推進ネジ軸２３、推進ネジ軸２３にねじ結合した正面視Ｘ字状の締付けレバー２５、推進ネジ軸２３をケース内に向って前進させる付勢手段２６、推進ネジ軸２３の先端に設け基板の側面を固定する基板押え２７を設ける。基板押え具（１０）並びに基板固定具２０は第１及び第２のケース本体１，２に複数個設けられる。 （もっと読む）