【課題】接合強度及び気密性が高く、空洞部を有する場合でも空洞部の形状精度に優れたＳｉＣ接合体を提供する。
【解決手段】接合層にＳｉとＳｉＣを含むＳｉＣ接合体であって、前記接合層のＳｉＣの含有割合であるＳｉＣ／（Ｓｉ＋ＳｉＣ）が前記接合層の中央部と外周部において、中央部＞外周部の関係を有することを特徴とするＳｉＣ接合体。前記接合層のＳｉＣの含有割合が前記中央部で０．１〜０．５、前記外周部で０〜０．１である。 （もっと読む）

【課題】バーミラーに当接する箇所の平面度または高さの均一性を容易に調節にすることができるＸＹステージのスライダを提供する。
【解決手段】ＸＹステージ用のスライダ１０によれば、第１当接箇所１１および第２当接箇所１２のそれぞれが、スライダ１０の上面において他の箇所よりも上方に突出している。また、第１当接箇所１１および第２当接箇所１２のそれぞれが、スライダ１０の上面に平行な方向について間欠的に配置され、かつ、スライダ１０の上面の他の箇所よりも上方に突出している複数の島１１０，１２０により構成されている。 （もっと読む）

【課題】均一に成膜でき、異常放電が生じ難いスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】酸化亜鉛焼結体からなり、Ｇａを０．０３〜０．７５原子％含み、複合酸化物がＸ線回折で検出されないことを特徴とするスパッタリングターゲットであり、Ｚｒ、Ｓｉ及びＡｌのうち１以上を合計で１００原子ｐｐｍ以下含み、酸化亜鉛焼結体表面の色差ΔＥ＊ａｂが０．７以下である。また、上記スパッタリングターゲットは、複合酸化物がＸ線回折で検出されない条件で焼結される。 （もっと読む）

【課題】低熱膨張性及び高熱伝導性に優れた光学装置の部品に好適なセラミックス部材を提供する。
【解決手段】窒化珪素焼結体からなり、室温の熱伝導率が６０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、室温から１０００℃までの熱膨張係数が３．４×１０^−６／Ｋ以下、L＊ａ＊ｂ＊表色系における明度L＊が０〜８０の範囲であることを特徴とするセラミックス部材。Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系における色度ａ＊が−３〜３、色度ｂが−３〜３である。露光装置用ステージ機構において、例えば、ステージ部品１や、位置測定用のミラー部品４、５等に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】電力を節約しながらも利用目的に鑑みた適当な温度範囲で利用可能な発熱体および当該発熱体を用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】本発明の発熱体２０は、マイクロ波が照射されることにより自己発熱する一または複数種類の発熱材からなる。発熱体２０に対するマイクロ波の照射強度の制御態様が変化する際の発熱体２０の温度である特異温度Ｔ0が、発熱材の種類、および、必要に応じて重量比率に応じて設定されている。 （もっと読む）

【課題】軽量であり、かつ耐衝撃性が高く防護対象への衝撃を低減することができる耐衝撃部材を提供する。
【解決手段】高速飛来物の衝撃に対する防護に用いられる耐衝撃部材１０であって、セラミックスの強化材と金属の母材とからなる金属基複合材料またはセラミックスにより形成される基体１１と、基体１１に接合され、高強度繊維を含んで形成される緩衝体１２、１３とを備え、基体１１は、３．５×１０^３ｋｇ／ｍ^３以下の密度、およびエコーチップ硬度測定したときに５５より大きいロックウェル硬度ＨＲＣを有する。したがって、耐衝撃部材は軽量であり、耐衝撃性が高い。したがって、耐衝撃部材１０は変形を抑え防護対象への衝撃を低減できる軽量な製品に適用できる。また、基体１１が金属基複合材料またはセラミックスにより形成されるため、金属母材の含浸またはセラミックスの焼成前の加工が容易となる。 （もっと読む）

【課題】接合強度及び気密性が高く、中空部の寸法精度に優れた接合体を提供する。
【解決手段】第一の炭化珪素焼結体１１と第二の炭化珪素焼結体１２とが金属珪素及び炭化珪素からなる接合層１４１、１４２を介して接合された炭化珪素接合体であって、その断面において、複数の前記接合層１４１、１４２の間に気密性中空部１５を有し、前記第一および第二の炭化珪素焼結体の前記気密性中空部１５に面した表面の表面粗さＲｚが２．５μｍ以上であることを特徴とする炭化珪素接合体。 （もっと読む）

【課題】特に金属溶湯に接触する溶湯部材に好適な耐熱衝撃性に優れた窒化珪素焼結体を提供する。
【解決手段】窒化珪素を主成分とし、マグネシウム及びイットリウムを酸化物換算で合計０．１〜１０質量％、鉄を酸化第二鉄換算で０．１〜０．５質量％含み、Ｙ_２Ｏ_３／ＭｇＯで表されるモル比が０．０１〜０．１０であって、室温の熱伝導率が７０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、３点曲げ強度が７００ＭＰａ以上であることを特徴とする窒化珪素焼結体。室温から１０００℃までの熱膨張係数が３．４×１０^−６／Ｋ以下である。 （もっと読む）

【課題】十分な量のロウ材を用いた場合でもロウ材のはみ出しを防止し、基板にクラックが発生するのを防止できる給電端子およびこれを備えるウェハ保持体を提供する。
【解決手段】金属製ブッシュ１００は、セラミック部材３００の止まり穴３１０に嵌入、固定される金属製ブッシュ１００であって、柱体形状に形成され、柱体形状の側面にロウ材溜め用の溝１１０を有する。これにより、ロウ材５００が側面の溝１１０にトラップされ、セラミック部材３００の表面にまで這い上がり、はみ出すことがなくなる。その結果、外観不良を防止し、はみ出したロウ材５００の除去作業を不要とすることができる。また、はみ出したロウ材５００が固着する基板表面の部分に、熱膨張差によりクラックが発生するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】接合後の位置ズレが小さく、また、接合強度及び気密性が高く、中空部を有する場合でも中空部の寸法精度に優れた接合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第一の炭化珪素焼結体１１と第二の炭化珪素焼結体１２とが金属珪素及び炭化珪素からなる接合層１４を介して接合された炭化珪素接合体であって、前記第一の炭化珪素焼結体１１は、炭化珪素含有金属珪素層１３が形成される接合面１１ａを有し、前記第二の炭化珪素焼結体１２は、前記炭化珪素含有金属珪素層１３と当接する接合面１２ａを有し、第二の炭化珪素焼結体１２の接合面１２ａは、表面粗さＲａ０．６μｍ以下であって、前記炭化珪素含有金属珪素層１３が熱処理されてなる接合層１４を介して接合されたことを特徴とする炭化珪素接合体。 （もっと読む）