【課題】脱ガス量の低減を図りうる耐食性部材およびこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】基材に対して原料粉末が溶射される際、セラミックス原料粉末の加速エネルギーｘ［ｇ／ｍｉｎ／ｍｍ^２］および熱エネルギーｙ［ｋＪ／ｋｇ］の組み合わせが、ｘ−ｙ平面において所定領域に収まるように調節される。これにより、同素材の焼結体に対するビッカース硬度の比が０．５２以上であり、相対密度が９０〜９７［％］であり、表面粗さＲａが３．０〜７．０［μｍ］であり、かつ、脱ガス量が１０００［ｐｐｂ／ｃｍ^３］以下であるセラミックス膜を有する耐食性部材が得られる。 （もっと読む）

【課題】研削抵抗の相違に由来する、緻密質体と多孔質体との境界における段差の低減または解消を図ることができる緻密質−多孔質接合体等を提供する。
【解決手段】本発明の緻密質−多孔質接合体によれば、緻密質体１と前記多孔質体２との接合界面が実質的に隙間なく一体的に焼成されている。緻密質体１が酸化アルミニウムの焼結体からなり、ＸＲＤのピーク強度により算出される結晶配向度Ｉ_３００／（Ｉ_３００＋Ｉ_１０４）が０．１〜０．２である。 （もっと読む）

【課題】各圧電素子の駆動のタイミングを分散でき、速度むら、外力の影響を防ぎ、被駆動体をスムーズに動かすことができる超音波モータの駆動回路および駆動方法を提供する。
【解決手段】独立に楕円軌道で駆動する複数の圧電素子１０２を駆動方向に並列に設けた超音波モータ１０１の駆動回路であって、圧電素子１０２毎に位相をずらしたパルス波の制御電圧を生成する制御電圧生成部１０８と、制御電圧に基づいて駆動電圧を印加する駆動電圧印加部１０９とを備える。これにより、各圧電素子１０２の駆動のタイミングを分散でき、速度むら、外力の影響を防ぎ、被駆動体１０７をスムーズに動かすことができる。被駆動体１０７に外力が加わっている状態でも、被駆動体１０７への効力がかかるタイミングを分散でき、安定した速度でスムーズに駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも腐食性ガスの侵入を抑制することのでき、かつ基材中の成分の表層への侵入を防止できる部材を用いたガス処理装置およびメカニカルポンプを提供する。
【解決手段】 本発明の処理装置は、内部をガスが通過または滞留する処理装置であり、ガスと接する部分は、鉄を含有する基材と、基材表面に設けられたＦｅの拡散を防止するバリア膜およびその上に設けられた少なくともイットリア（Ｙ_２Ｏ_３）を主成分とする表面保護膜とを有する。 （もっと読む）

【課題】超音波モータの始動トルクを小さくすることができ、指定位置を何度も往復する不具合を防止できる超音波モータ、その制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】被駆動体１０７の位置制御に用いられる超音波モータ１００であって、被駆動体１０７を摩擦駆動する圧電素子１０４と、可変の押圧力で圧電素子１０４を被駆動体１０７側へ押圧する可変与圧機構１５５とを備える。これにより、超音波モータ１００への駆動制御が微動である場合には、与圧を小さくするように制御できる。その結果、超音波モータ１００の始動トルクを小さくすることができ、指定位置を何度も往復する不具合を防止できる。その結果、位置決めの精度を向上させ、短時間の位置決めを可能にする。 （もっと読む）

【課題】焼成により生じる表面変質層が極力少ないＩＧＺＯ焼結体を提供する。
【解決手段】酸化インジウム粉末、酸化ガリウム粉末、及び酸化亜鉛粉末を含む混合粉体を成形し、得られた成形体を焼成することによりＩＧＺＯ焼結体を製造するに際し、成形体の焼成は、成形体を、所定の開口部以外の部分は密閉された容器内に配置して行うようにする。さらには、該容器内に、酸化亜鉛粉末を敷いて焼成を行うようにする。これにより、焼成時において表面に生じるＩｎ_２Ｇａ_２Ｚｎ_１Ｏ_７を含む表面変質層の厚さが１ｍｍ以下となる。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、脱脂時の有機物の熱分解および分解したガスの拡散を促進し、有機物残渣や脱脂割れの発生を防止できる積層セラミックスの製造方法を提供する。
【解決手段】積層したグリーンシートを脱脂、焼成して行う積層セラミックスの製造方法であって、セラミックス粉体と樹脂系組成物とを混合し、相対密度７５％以下のグリーンシートを作製する工程と、前記グリーンシートを１５ＭＰａ以下の圧力で圧着し、積層成形体を作製する工程と、前記積層成形体を脱脂し、焼成する工程とを含む。このようにグリーンシートの密度および圧着圧力を制御することで、生産性を低下させることなく、脱脂時の有機物の熱分解および分解したガスの拡散を促進し、有機物残渣や脱脂割れの発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】製作工程を複雑化することなく、アクチュエータ表面の破壊による不良を防止することのできる圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】矩形に形成され、電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子１００であって、圧電層１１２と内部電極１１１とが交互に積層された素子本体１１０と、内部電極１１１に接続し、積層方向に沿って素子本体１１０の側面に設けられた外部電極１１４と、固着により外部電極１１４に接続された金属製板状のリード部材１３０と、素子本体１１０のリード部材１３０より積層方向端部側で外周に接して設けられ、積層面に沿って形成された応力緩和層１１３とを備える。これにより、圧電素子１００の表面１１５がリード部材１３０によって引っ張られた際に、応力緩和層１１３が広がるように圧電素子１１０が変形し、表面１１５に発生する引張応力を軽減できる。 （もっと読む）

【課題】高純度セラミックス粒子を焼結助剤無添加で、従って、多孔質体として高純度を保持したまま結合し、気孔率と気孔径を同時に制御したバインダレス化焼結体からなる多孔質体の製造方法を提供する。
【解決手段】純度９９．５％以上のセラミックス粒子であって、それらの平均粒径が１０μｍ〜５０μｍであり、かつ平均粒径の０．５倍粒径以下の粒子と平均粒径の２．５倍以上の粒子を除いた残りの粒子が、９５重量％以上であるセラミックス粒子を原料粉末１４として設置するステップと、加圧通電加熱焼結法、又は加圧焼結法で前記原料粉末を焼結するステップと、を備え、真空中又は不活性ガス雰囲気中にあって、加圧される場合の加圧力１２が１０ＭＰａから６０ＭＰａであり、１２００℃以上の所定の焼結温度まで昇温速度３０℃／ｍｉｎから４５℃／ｍｉｎで昇温させ、焼結型１０における多孔質体の変位が停止してからの保持時間を２時間以内とする。 （もっと読む）

【課題】溶解材料の含浸時に十分に炭化ホウ素とケイ素との反応を抑制し、クラックの発生を防止できる。
【解決手段】本発明の複合材料の製造方法は、炭化ホウ素の強化材と金属ケイ素のマトリックスとからなる複合材料の製造方法であって、金属ケイ素に対して１０重量％以上の炭化ホウ素が含有されるように、炭化ホウ素含有材料を溶融金属ケイ素に混合し事前溶解させ、１４２０℃以上１５００℃以下で事前溶解材料を、炭化ホウ素のプリフォームに含浸させる。このように、金属ケイ素に対して１０重量％以上の炭化ホウ素が含有されるように事前溶解材料を生成し、低温の１４２０℃以上１５００℃以下でプリフォームへの含浸させるため含浸時に炭化ホウ素と金属ケイ素との反応が生じにくい。その結果、反応生成物によるクラックを防止することができる。 （もっと読む）