【課題】小型、低コストで高強度の極端紫外光源を提供すること。
【解決手段】絶縁体（３）を挟んで対向する第１の電極（４）および第２の電極（２）と、前記第１の電極（４）および前記絶縁体（３）とを貫通する細孔光路（３ａ＋４ａ）の他端側に連通して第２電極（２）に形成されたターゲット材収容部（２ａ）と、前記ターゲット材収容部（２ａ）に収容された極端紫外光（１３）の発光種となる固体のターゲット材（Ｔ）と、前記第１の電極（４）と前記第２の電極（２）との間に、真空状態の前記細孔光路（３ａ＋４ａ）に沿面放電を発生させる電圧パルスを印加するパルス電源（６）と、を備え、沿面放電により、前記ターゲット収容部（２ａ）の固体のターゲット材（Ｔ）をプラズマ化し、極端紫外光（１３）を発生させて、前記細孔光路（３ａ＋４ａ）を通じて外部に導く極端紫外光発生装置（１）。 （もっと読む）

【課題】試料に含まれる極微量の成分の分析の感度を高めること。
【解決手段】液体中で試料（１４）を調製する試料調製工程と、調製された試料（１４）を、試料搬入部材（２１）の冷媒液収容部（２１ｂ）に収容された液体状の冷媒中に沈んだ状態で収容する試料冷却収容工程と、試料（１４）が収容された試料搬入部材（２１）を、真空状態に排気されて分析が行われる分析真空室（２）に接続された搬入室（１２）に搬入する試料搬入工程と、搬入室（１２）を、真空状態に排気する搬入室排気工程と、搬入室（１２）の試料搬入部材（２１）を分析真空室（２）に移動させ、試料搬入部材（２１）の試料（１４）を、分析真空室（２）の試料保持部材（３）に移動させる試料移動工程と、試料保持部材（３）の試料に対して分析を行う試料分析工程と、を実行する試料分析方法。 （もっと読む）

【課題】小型の光脱離分析装置を提供すること。
【解決手段】
発生部（１ａ）内の希ガスにレーザー光（Ｌ）を照射してプラズマを発生させて真空紫外域から可視域の光を発生させるレーザー光源装置（６）と、前記光発生部（１ａ）内に配置され且つ発生した光を分光する分光系（１２）、前記光発生部（１ａ）内に配置され且つ発生した光を反射して前記分光系（１２）に集光する反射光学系（１１）および前記光発生部（１ａ）内に配置され且つ前記分光系（１２）により分光された単一波長の光を集光して前記試料（Ｓ）に照射する集光光学系（１３）が一体的に構成された発光分光集光系（１１〜１７）と、を有する光源装置（Ｄ１）と、前記真空チャンバ（Ｄ２）内に配置され、光が照射された前記試料（Ｓ）から脱離する物質を検出する質量分析計（２６）と、を備えた光脱離分析装置（Ｄ）。 （もっと読む）