【課題】プラズマ処理装置に適用したときに、一方向に長手の導波管導波管下面に列設されたスリット直下に位置する処理室内の空間におけるマイクロ波の電磁場強度を均一にすることができ、しかも処理室内のマイクロ波の電磁場強度の再調整を簡単に行うことが可能なマイクロ波導入装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１１の上壁１１ａに設けられたマイクロ波導入窓１２に対向配置される、一方向に長手の導波管７を備え、この導波管７は、そのマイクロ波導入窓と対向する下面に所定間隔で開設された複数のスリット７０ａ、７０ｂを有する。スリットの直上に位置する導波管の内部空間に対し進退自在に設けたアース接地の導体７１を更に備える （もっと読む）

【課題】六フッ化硫黄ガス（ＳＦ_６）を使用することなく、大電力を伝送する導波管回路に用いることができる導波管型非可逆素子を提供する。
【解決手段】電力を伝送する導波管回路に用いられる導波管型非可逆素子Ｗであって、両端が貫通した中空筒状の導波管１０と、導波管１０の内壁面に、熱伝導部材である真空ハンダ４０を介して接着されたフェライト２０と、導波管１０の外部であって且つフェライト２０を挟む位置に対向して配置された一対のマグネット３０ａ、３０ｂとを備え、導波管１０は、その内部が超高真空状態になっている。そして、フェライト２０で発生した熱が真空ハンダ４０を介して導波管１０に伝熱して放熱されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】寄生インダクタンスを低減し、パルス成形回路で優れた立ち上がり特性のパルスを得ることができるコンデンサ及びパルス成形回路を提供する。
【解決手段】外側が絶縁体で被覆されるコンデンサ本体１２と、コンデンサ本体１２の一の面から突出して設けられる一方の接続端子１３と、コンデンサ本体１２の他の面から突出して設けられる他方の接続端子１４と、コンデンサ本体１２を収容し、一方の接続端子１３の周囲に開口１５１を有すると共に、コンデンサ本体１２の開口１５１以外の領域を被覆する金属ケース１５とを備え、他方の接続端子１４を金属ケース１５に電気的に接続するコンデンサ１０、及びこのコンデンサ１０を複数接続して構成されるパルス成形回路２０。 （もっと読む）

【課題】発信周波数をより安定させることができるマグネトロン発振装置およびプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】周波数検出部７は、マグネトロン２から出力されたマイクロ波の周波数と、ユーザが所定の所望する発信周波数からの「ずれ」を検出してずれ信号を生成する。駆動電圧生成部８は、そのずれ信号に基づいてマイクロ波の発振周波数が所望する周波数となるようインピーダンス発生器５の駆動電圧を生成して出力する。これにより、マグネトロン２の発振を制御することができるので、広範囲な出力電力において発振周波数の安定化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】例えば地上デジタル放送において、受信機側で問題が生じない程度まで切替時間（クロスタイム）を短縮し、準シームレスで送信機を切り替えることを可能とすると共に、機器構成の小型化、低コスト化を図ることができる同軸切替器を提供する。
【解決手段】第１の端子３１と第２の端子３２を短絡する第１の可動内導体２１ａと、第２の端子３２と第３の端子３３を短絡する第２の可動内導体２１ｂと、第３の端子３３と第４の端子３４を短絡する第３の可動内導体２１ｃと、第４の端子３４と第１の端子３１を短絡する第４の可動内導体２１ｄとを備え、第２と第４の可動内導体２１ｂ、２１ｄでの短絡を解除し、且つ第１と第３の可動内導体２１ａ、２１ｃで短絡している状態から、第１〜第４の可動内導体２１ａ〜２１ｄで短絡している状態を経て、第１と第３の可動内導体２１ａ、２１ｃでの短絡を解除し、且つ第２と第４の可動内導体２１ｂ、２１ｄで短絡している状態に至らせる同軸切替器。 （もっと読む）

【課題】高電力で使用した場合にも、フェライトの温度上昇を抑制してフェライトの特性を維持することが可能であり、移相器として良好な機能を発揮することができる。
【解決手段】矩形導波管１１と、矩形導波管１１の対向する広面の内壁面に取付面をそれぞれ密着して対向配設される略平板状のフェライト１３・１３と、フェライト１３と略対応する位置で矩形導波管１１の外周に巻回され、電流が流されるコイル１２とを備え、略平板状のフェライト１３・１３の対向面に誘電体層１４・１４を設け、更には、矩形導波管１１の広面の外壁面に於ける略平板状のフェライト１３・１３と略対応する位置にヨークを設けるフェライト移相器。 （もっと読む）

【課題】高電力で使用した場合にも、フェライトの温度上昇を抑制してフェライトの特性を維持することが可能であり、移相器として良好な機能を発揮することができる。
【解決手段】矩形導波管１１と、矩形導波管１１の対向する広面の内壁面に取付面をそれぞれ密着して対向配設される略平板状のフェライト１３・１３と、フェライト１３と略対応する位置で矩形導波管１１の外周に巻回され、電流が流されるコイル１２と、を備えるフェライト移相器。 （もっと読む）

【課題】複数の電力増幅器にそれぞれ備えられるべき同調回路部を一つに集約して部品点数を削減してコストを低減するとともに、周波数変更時の調整を容易にした電力増幅装置を提供する。
【解決手段】入力高周波信号を分岐させた分岐信号がそれぞれ入力される複数の電力増幅器１１−１，１１−２と、これら電力増幅器の出力を合成する合成回路９２，９３とを有する電力増幅装置において、電力増幅器にそれぞれ含まれるべき同調回路部を集約して同調回路１３として合成回路の後段側に配置するとともに、合成回路と同調回路との間に合成回路による位相回転を補正するための位相回路１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】アンテナ内に均一な高周波を形成し、処理容器に均一なプラズマを生成できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１２１は、環状アンテナ７３に囲まれた封止板５５の中央部にガス供給管１２３が設けられたものである。このガス供給管は、その下部が漏斗状に拡径されており、下端部には多数のノズル１２５…が設けられている。このように、このプラズマ処理装置１２１にあっては、マイクロ波を処理容器５３に供給するアンテナ７３が円環状であるため、その中央開口部にガス供給管１２３を設けることができる。従って、反応性ガス等をウエハＷに対して均一に供給することができ、従ってガス供給の不均一による処理のむらを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】マグネトロンの出力電力を効率よく負荷に供給する。
【解決手段】基準信号供給部６内にサーキュレータ７１とダミーロード７２とからなるアイソレータ７を設ける。具体的には、サーキュレータ６２の第１端子をインピーダンス発生器５の他端に接続し、第２端子を負荷に接続し、第３端子をサーキュレータ７１の第１端子に接続する。サーキュレータ７１の第２端子をダミーロード７２に接続し、第３端子を基準信号発振器６１に接続する。これにより、マグネトロン２からのマイクロ波Ｍは、インピーダンス発生器５を経由して、サーキュレータ６２を通過して負荷へ送られる。この場合、マイクロ波Ｍは１つのサーキュレータ６２しか通過しないので、マグネトロン２の出力電力を効率よく負荷に供給することができる。 （もっと読む）