【課題】測定対象に設けられた穴の傾斜角等を高精度で測定すること。
【解決手段】光源部１０６は、断面が線状で所定間隔に配置された複数の平行な光ビームから成る測定用光１５０を出力する。光検出部１１１、１１４は、測定対象１３０の穴１３２周辺領域で反射した測定用光１５０を検出する。制御部１２６は、光検出部１１１、１１４が検出した複数の光ビームと穴１３２周縁部との交点の位置座標を用いて各光ビームの垂直２等分線を求め、穴１３２と交差しない複数の光ビームと前記垂直２等分線との交点の位置座標と前記光ビームの既知の間隔とを用いて穴１３２の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象に設けられた穴の傾斜角を高精度で測定すること。
【解決手段】測定対象１３０の穴１３２を含む領域の原画像データを取得し、断面が面状の第１測定用光を測定対象１３０の穴１３２を含む領域に照射した状態で前記領域の第１画像データを取得し、断面が複数の線状光である第２測定用光を穴１３２を含む領域に照射した状態で前記領域の第２画像データを取得し、第１画像データと原画像データの差をとることによって、穴１３２を含む領域における第１測定用光に関する第３画像データを取得し、第２画像データと原画像データの差をとることによって、穴１３２を含む領域における第２測定用光に関する第４画像データを取得し、第３画像データにおける穴１３２周縁部と第４画像データにおける第２測定用光との複数の交点の位置データを算出し、前記位置データを用いて穴１３２の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】 高速で高精度な測定を行えるようにすること。
【解決手段】 測定対象１２０に測定用光を照射する光源部１０１と、光源部１０１とは位置関係が無関係であるが相互の位置関係が既知で、測定対象１２０からの測定用光を偏向する第１、第２光偏向素子１０８、１０９と、第１、第２光偏向素子１０８、１０９からの測定用光を検出する１つの光検出素子１０５と、測定対象１２０から反射した測定用光が第１、第２光偏向素子１０８、１０９の双方を介して光検出素子１０５へ入射する測定対象１２０上の点Ｐについて、第１、第２光偏向素子１０８、１０９を介して光検出素子１０５が検出した測定用光に基づいて三角測距法によって測定対象１２０についての長さに関する情報を算出する演算装置１１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 複数の部材の相対的位置を、簡単な構成で光学的に測定できるようにすること。
【解決手段】 光源１０３及びコーンミラー１０４を有する光出力部１０１からは複数の方向に面状の測定用光１３０、１３１が出力される。第１光偏向部１０７は光出力部１０１からの測定用光１３０を第１の方向に偏向し第１測定用光として対象物１１２及び対象物１１２の穴１１３に挿入された対象物１１４に向けて出力する。第２光偏向部１０９は光出力部１０１からの測定用光１３１を第２の方向に偏向し第２測定用光として対象物１１２、１１４に向けて出力する。光検出部１１５は対象物１１２、１１４によって反射した第１、第２測定用光１３０、１３１を検出し、演算制御部１１６は光検出部１１５によって検出した測定用光に基づいて三角測量法によって対象物１１２、１１４間の間隙を算出する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な位置合わせであっても精度良く行えるようにすること。
【解決手段】 支持部材１１０に取り付けられた光発生部１０１は、光源１０２が発生した光を、コーンミラー１０３の頂部１０４を含む反射部１０５によって直角方向に反射し、放射状の測定用光１３０を出力する。光センサ１０７は、円柱状穴１１６を有する対象物１１５の円柱状穴内壁面１０９で反射した測定用光１３０を検出して対応する検出信号を出力する。制御部１２１及び制御装置１１４は、前記検出信号に基づいて円柱状穴１１６の中心軸と支持部材１１０の中心軸との距離が許容値内になるように支持部材１１０と対象物１１５の少なくとも一方の位置を制御し、両者の位置合わせが終わった後、チャック１２０を制御して爪部材１１１〜１１３を円柱状穴内壁面１０９に当接させ、チャック１２０によって対象物１１５を保持する。 （もっと読む）

【課題】 ビームウエスト位置を検出することが可能な光源装置を提供すること。
【解決手段】 光源１０４からの光ビーム１０８は、レンズ系１０５を介してコーンミラー１０６の反射部１２５によって反射され、放射状に放射状光１２１として出力される。ビームウエスト位置算出部１２０は、各検出部１１６〜１１９が検出した放射状光１２１の断面の幅に基づいてビームウエスト１２２の位置を算出する。制御部１０２は、レンズ系位置算出部１１５からのレンズ系１０５の現在位置情報、ビームウエスト位置算出部１２０からのビームウエスト位置情報及び距離測定部１２７からの照射位置情報に基づいて、ビームウエスト１２２が照射点に位置するように、モータ１０９を制御する。スライダ１１２はモータ１０９の駆動によってレンズ系１０５のフォーカス位置を変更し、その結果、ビームウエスト１２２の位置が変更される。 （もっと読む）

【課題】光エネルギを有効利用すること。
【解決手段】光源１０１からコーンミラー１０２に向けて光ビームが照射されると、前記光はコーンミラー１０２の少なくとも頂部１０３を含む円錐面１０４の反射部によって９０度方向に放射状に反射される。前記放射状光中の第１領域の光１０７は、対象物１１０に向けて直接出力される。対象物１１０には前記第１領域光によって光切断ラインが形成される。前記放射状光中の第２領域の光１０８は、第１反射ミラー１０５によって９０度方向に反射された後、第２反射ミラー１０６によって９０度方向に反射され、対象物１１０の他の部分に向けて出力される。対象物１１０の前記他の部分には第２領域光１０８によって光切断ラインが形成される。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の形状や大きさによって基準物が配置された回転テーブルの大きさや形状を変更せず、また回転テーブルの上で測定対象物の向き等の位置を変えることなく、測定対象物の外形全体の測定を可能にする装置を提供する。
【解決手段】 非接触式３次元形状測定手段によって、各領域の測定と同時に測定する、直方体で前記直方体の上面、前後の相対する面、及び左右の相対する面に１個、もしくは複数の球体を有する測定基準物を備えている。また、非接触式３次元形状測定手段により各領域の測定と同時に測定する、基板の上に直方体を固定し、前記直方体の前後、左右の面から間隙を設けた位置に球体が取り付けられた測定基準物を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で多様な測定が可能な光学式測定装置を提供すること。
【解決手段】光源１２６からの測定用光１２４は、レンズ系１０７を介してコーンミラー１０８の反射部１２１によって反射され、光遮蔽部材１０５、１０６の開口を介して、幅広で放射状の欠陥測定用光１１９として測定対象１５０側に出力される。コーンミラー１０８の貫通穴１０９を通過した測定用光１２５は、コーンミラー１１０の頂部１１１周辺の反射部１２２によって反射され、光遮蔽部材１０５、１０６の開口を介して、幅狭で放射状の長さ特性測定用光１２０として測定対象１５０側に出力される。測定対象１５０で反射した欠陥測定用光１１９と長さ特性測定用光１２０は、各々、測定部１１２、１１６によって検出され、演算制御部１２８によって測定対象１５０の欠陥の有無判別や形状算出等が行われる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、所定位置に固定した原点を基準として、移動する測定対象の形状等を高精度に測定すること。
【解決手段】相互の位置関係が既知の光学式測定部１２１、１２３を有する複眼測定部１２５を所定の固定位置である原点に配設し、反射部１３２に標点１１８〜１２０を形成する標点用光と測定対象１３０に測定用の測定用光を出力する光生成部１３３〜１３５及び標点１１８〜１２０に対して所定位置に設けられた測定部１３６を有する光学式測定器１３１をアーム式多関節ロボット１００のハンド部１１４に一体的に設け、演算制御部１３８によって標点用光及び測定用光を出力するように制御する。この状態で、複眼測定部１２５によって原点を基準として標点１１８〜１２０の座標を測定すると共に、測定部１３６によって測定対象１３０の形状等を測定し、これらの測定値に基づいて、原点を基準として測定対象１３０の形状等を測定する。 （もっと読む）