【課題】大型のガラス基板の搬送に好適に利用でき、しかも搬送時における基板の振動を抑制して、高速搬送が可能であるとともに、消費電力を少なくしてランニングコストを低減し得る基板浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】平板状の基板Ｇを気体により浮上させながら搬送する基板浮上搬送装置１０であって、基板Ｇの搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して緩傾斜させた搬送台１１と、搬送台１１の上面に形成した吹出口１２へ気体を供給して基板Ｇを浮上させる気体供給手段と、搬送台１１の傾斜方向の下側縁に沿って設けた搬送ベルト１４で基板Ｇの下側縁を支持しながら、基板Ｇを搬送方向へ送り駆動する基板送り手段１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】搬送時において、基板を損傷させることなく載置安定性を保持してその高速搬送を可能とするとともに、生産効率性に優れた昇降搬送装置を提供する。
【解決手段】基板の昇降搬送装置であって、本体フレーム１１と、本体フレーム１１内に上下動自在に配置して基板を載置するパレット部１２と、パレット部１２を本体フレーム１１内で昇降させる昇降手段１３と、パレット部下部及び／又は上部に設けられパレット部１２の昇降中における気流を調整する気流調整手段２０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】下層位置において搬入コンベア上に載置されている基板を搬送プレート上に載せ換えるときや、上層位置で搬送プレート上の基板を搬出コンベアに載せ換えるときに、搬送ローラ上の基板に衝撃を与えることなく、基板を水平方向にスムーズに移送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】水平方向から供給される基板Ｇを垂直方向に昇降する搬送装置であって、搬送装置の本体フレーム１１と、本体フレーム内に上下動自在に配置して基板を載置するパレット部１２と、基板を水平方向に搬送するパレット部上面側に配置された基板送り手段１９と、パレット部に設け基板送り手段を駆動させる電動モータ１２ｂと、パレット部を本体フレーム内で昇降させる昇降手段１３と、を有し、電動モータは、本体フレームに設けた非接触給電コイル１４、１４ａ及びパレット部に設けた非接触受電コイル１５を介して電源が供給されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板を空気圧にて浮上搬送する場合において、クリーンルーム内の気流を乱すことが少なく、低コストで、高速に搬送する方法を提供する。
【解決手段】上面部に複数の空気噴出口１６を有する浮上パイプ１２を、進行方向に対して直交する幅方向に設置し、基板の位置を検出する基板検出器２１の信号により、空気の噴出を必要とする部分の浮上パイプ１２の両端から空気を供給し、浮上パイプ１２の空気噴出口１６から空気を噴出させて、ガラス基板を浮上させ、幅方向両側の駆動ローラ列１４Ａ、１４Ｂにより搬送する。 （もっと読む）

【課題】 被処理粉体の球形化処理若しくは複合化処理を高効率且つ連続処理で実施する事により、コンパクトな製造装置を提供する。
【解決手段】 中空円盤型容器１の内部に高速回転する回転軸まわりに開口部を有する回転円盤２がある。その回転円盤の表面２１及び裏面２２には、それぞれ回転ピン３及び４が付設され、中空円盤型容器１の内表面１１及び内裏面１２には、それぞれ、前記回転ピンに対向し、その回転ピンと一定の隙間を有した固定ピン５及び６が付設されている。又、開口部を有する回転円盤２の軸心側に吸込翼７、裏面外周には突出翼８が設置され、さらに中空円盤型容器の内表面１１の中央に分級室３０、その中央に供給管３２、外壁には排出口３３が設置されている。開口部を有する回転円盤２が高速回転する事で、粉体が回転ピン３及び４と固定ピン５及び６の隙間を通過しつつ、多流量で内部循環する。 （もっと読む）