【課題】照射光の広域な波長に亘って安定した低反射率を得られ、安定した二重露光防止作用と良好な露光作用を得られるとともに、液晶ディスプレイの軽量化と大型化に対応し、設備費と反射率の低減を図れるとともに、基板ステージの機能低下や故障を未然に防止し、低反射率の液晶基板保持盤を確実かつ安価に製造できる、液晶基板保持盤およびその製造方法を提供する。
【解決手段】母材１１表面に低反射率の材料からなる溶射皮膜１２を形成したこと。前記溶射皮膜１２の表面に透明または半透明の基板Ｗを保持可能な支持部１３を形成した液晶基板保持盤であること。前記溶射皮膜１２をアルミナとチタニアを含有する複合材料（Ａｌ₂Ｏ₃−α％ＴｉＯ₂）で形成したこと。前記溶射皮膜１２表面の全反射率を、光の波長３６０〜７４０ｎｍの範囲に亘って９％以下に形成したこと。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程に使用されて消耗劣化した石英ガラス部材に対し、品質の安定化と再生の合理化を図れる石英ガラス部材の再生方法を提供する。
【解決手段】消耗または汚染劣化した石英ガラス部材の受入検査後、石英ガラス部材に蛍光作用を奏する所定波長の光線を照射し、該石英ガラス部材とデポとの蛍光色の差により汚染劣化状況を検査し、前記石英ガラス部材の洗浄方法を決定する。洗浄後、デポの残留を検査して火炎処理加工可能とされた石英ガラス部材に対し、該石英ガラス部材の消耗劣化部の消耗劣化状況に応じて、消耗劣化部と非消耗劣化部とを分離し、非消耗劣化部に消耗劣化部に代わる新規材料を溶着し一体化して再生し、または分離しないで消耗劣化部を修復して再生する。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスを火炎加工する際に金属不純物を付着させない石英ガラス製バーナーにおいて、本体にノズルを着脱可能に装着するための新規な構造を提供して、締結時のフィットを良好にすると共にねじ山の欠損を防止する。
【解決手段】耐熱樹脂製の継手１４の基端側の雄ねじ部１４１を石英ガラス製の本体１１の先端雌ねじ部１１７に締結し、石英ガラス製のノズル１２の基端側に装着した石英ガラス製のナット１５を該継手の先端側の雄ねじ部１４２に締結することにより、本体の先端にノズルが着脱可能に取り付けられた石英ガラス製バーナー１０が得られる。ノズルの基端側にはスリーブ１３が挿入されてナットに収容されており、スリーブが継手の先端との間に挟み込まれた状態でナットが締結されることによりノズルが取り付けられる。石英ガラス製の継手カバー１６が本体とノズルとの連結部を包囲するように設けられる。 （もっと読む）

【課題】 例えば酸化ケイ素を主成分とするガラス基板の微細加工に好適で、ガラス基板のエッチングマスクとして、Ｃｒ／Ａｕやシリコンの代わりにゲルマニウム薄膜を用い、ガラス基板に対する密着性と、フッ化水素酸を含有するエッチング液に対する耐性を向上し、その成膜時間を短縮して生産性を向上するとともに、種々の用途や条件に応じてエッチング面の粗度を調整し得る、基板のエッチング方法を提供すること。
【解決手段】 酸化ケイ素を主成分とする基板１上に薄膜２を形成する。そして前記薄膜２にフォトリソグラフィ−およびエッチングを介して所望のパタ−ンを形成する。この後前記パタ−ニングされた薄膜２をエッチンングマスクとして、フッ化水素酸を含有するエッチング液により、前記基板１を等方的にエッチングする。この時前記基板１上にエッチングマスクとして、ゲルマニウム薄膜２を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走行体の走行時間測定の精度を上げ、更には走行体の途中時間の自己認識と複数の競技者の認識を可能にする。
【解決手段】走行時間計測距離間の終始点に夫々設置する磁気発生手段からなる第一のユニット装置と、走行体に配備する磁気検知及び検知情報を記憶し、無線送信する第二のユニット装置と、受信及び計時表示手段を備え、計時した時間の音声発生出力手段を備えた第三のユニット装置とからなり、第三のユニット装置は走行体並びに他の計測者にも配備できるようにする。 （もっと読む）

【課題】磁気センサーで検知した計測距離の終始点間の通過時点を無線信号により走行体並びに他の地点で同時に計時並びに表示し得る走行体走行時間計測装置を提供する。
【解決手段】計測距離間の終始点の磁石からなる第一のユニット装置を夫々埋設する。磁気検知及び検知情報を無線送信する第二のユニット装置と受信並びに計時表示手段を備えた第三のユニット装置とを分離構成し、この第二のユニット装置と第三のユニット装置とを走行体に配備する他に、第三のユニット装置を他の計測地点に配備する。 （もっと読む）