【課題】 加熱装置全体としての断熱性を維持しながら、昇温時、温度安定時間の短縮と急冷時間の短縮を図る加熱装置を提供すること。
【解決手段】筒状の側壁内に基板を処理する処理室を設け、この側壁に支持されると共に基板を加熱する発熱体２０を備えた加熱装置である。側壁内層５０、側壁中層６０及び側壁外層７０で区切られた二つの空間が形成される。発熱体２０を取り付ける側壁内層５０と側壁中層６０との間の第一の空間Ｓ１には冷却媒体流通通路１４が形成される。側壁中層６０と側壁外層７０との間の第二の空間Ｓ２には断熱材６３が封入されている。 （もっと読む）

【課題】 組立容易であり、しかも、シェルの積層間に形成される隙間の気密性を維持することの可能な加熱装置及び加熱装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の筒状のシェルユニット５１を積層することにより形成したシェル５０の中に基板を処理する処理室を設ける。このシェル５０の内周に支持されると共に基板を加熱するヒーター２０を備える。これらシェルユニット５１の積層間に形成される隙間５０ｓを変形可能な封止部材５２で封止する。シェルユニット５１の端部近傍にシェル５０の外周側に突出する第一の鍔５３を設ける。シェルユニット５１の端部に対し隙間５０ｓで対向するシェルユニット５１の端部近傍にシェル５０の外周側に突出する第二の鍔５９を設ける。封止部材５２は第一の鍔５３と第二の鍔５９との間に配置される。第一の鍔５３は封止部材５２が筒状の外側へ移動することを規制する規制部５３ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】 熱伝導が良好であり、しかも、製造の容易な加熱装置及びこれに用いる冷却管の取付具を提供すること。
【解決手段】基板を加熱するヒーターと、このヒーターを内周に支持する筒状のシェル５０と、シェル５０の外周側に取り付けられて冷却媒体を流動させる冷却管５９とを備える。冷却管５９をシェル５０に取り付けるための複数の取付具５２をさらに設ける。これら取付具５２は、冷却管５９の外面に跨ってこの冷却管５９と面接触する保持部５２ａと、保持部５２ａの両端に位置しシェル５０に取り付けられる取付部５２ｂと、保持部５２ａ及び取付部５２ｂの間に位置する中間部５２ｃとを有する。この取付部５２ｂはシェル５０に複数箇所で部分溶接されている。 （もっと読む）

【課題】 高品質で作業コストを低減しつつ、シェルの積層間に形成される隙間の気密性を維持することの可能な加熱装置を提供すること。
【解決手段】複数の筒状のシェルユニット５１を積層することにより形成したシェル５０の中に基板を処理する処理室を設ける。このシェル５０の内周に支持されると共に基板を加熱するヒーター２０を備える。これらシェルユニット５１の積層間に形成される隙間５０ｓを変形可能な封止部材５２で封止する。封止部材５２は帯状であるとともにシェル５０の外周側から隙間５０ｓを覆うように巻き付ける。この封止部材５２の外側から帯状の固定部材５３を巻き付けることにより封止部材５２を締め付け固定する。 （もっと読む）

【課題】 フランジの熱変形による垂れを防止することが可能な加熱装置を提供すること。
【解決手段】筒状のシェル５０と、このシェル５０の内周に吊り下げ支持されると共に基板を加熱するヒーターと、このヒーターをシェル５０に支持する支持金具と、支持金具にヒーターを取り付ける碍子とを備える。この支持金具は固定部３４ｘを介してこのシェル５０の内周側にフランジ３４ｆを突出させるように固定される。フランジ３４ｆは、各支持金具間及び各碍子取付部３４ｂ間にスリット３４ａ，３４ｗを有しているので熱膨張長は吸収される。また、各碍子取付部３４ｂに固定部３４ｘを有しているので、過熱による熱変形は抑制される。 （もっと読む）

【課題】 発熱体の両側端を支持しながら熱変形を合理的に吸収し発熱体を安定させることの可能な電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する支持体２０とを備える。スリットに沿う幅方向Ｗに位置する一対の幅方向端部１３，１３の中間に位置する電流路には貫通孔を設けてある。発熱体１０は、この貫通孔を貫通する支持体３０により少なくとも厚み方向Ｙ及び幅方向Ｗに対する移動を規制されて支持される。一対の幅方向端部１３，１３は端部貫通孔又はスリットを貫通する支持体４０により各々発熱体１０の厚み方向Ｙに対する移動が規制されると共に幅方向Ｗに対する移動が許容されている。 （もっと読む）

【課題】 略鉛直方向に配置した発熱体の発熱時の軟化による発熱体全体の変形を抑制して基本形状を維持することの可能な電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。発熱体１０は、スリットに沿う幅方向Ｗに位置する一対の幅方向端部１３，１３間で加熱空間Ｓ側に向かって凸状を呈する。幅方向Ｗが略鉛直方向に沿うように一対の幅方向端部１３，１３を絶縁体２０にそれぞれ固定することで発熱体１０を支持する。発熱体１０の中間部１０ｍに接当することでこの中間部１０ｍが絶縁体２０側に近接することを防ぐ支持部３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】 発熱時の軟化によっても基本形状を維持でき、しかも取付の容易な電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。この発熱体１０のうちスリットに沿う幅方向Ｘに位置する一対の幅方向端部１３，１３で絶縁体２０に支持される。発熱体１０は一対の幅方向端部１３，１３の間で下側へ凸となる円弧状を呈する。幅方向端部１３を略鉛直方向Ｚに向かって絶縁体２０に形成した溝２３に挿入し、溝２３内で幅方向端部１３を絶縁体２０に係止してある。 （もっと読む）

【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。この発熱体１０のうちスリットに沿う幅方向Ｘに位置する一対の幅方向端部１３，１３で絶縁体２０に支持される。各幅方向端部１３，１３に位置する絶縁体２０は、幅方向Ｘに沿った水平方向に対して少なくとも２分割される。２分割された各分割体２１，２２の間に幅方向端部１３を係止し、幅方向端部１３の上方の部分で各分割体２１，２２を締結する締結具３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 比較的長尺の発熱体であっても加熱と自重による変形を抑制することの可能なヒーターユニット及び発熱体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 蛇行状の電流路を有する発熱体３と、その発熱体３を保持する保持部４とを有する。電流路は、長尺板状でその長手方向に対し上方に向けて凸となる円弧状の主部３１と各主部３１間を接続する接続部とよりなる。各主部３１は長手方向Ｘに直交する幅方向Ｙに対し対称的に屈曲してある。保持部４は接続部を係止する溝を有する一対の絶縁体４０ａ，４０ｂよりなる。接続部又はその近傍部分を一対の絶縁体４０ａ，４０ｂの溝間に係止させて発熱体３を長手方向Ｘに対し円弧状に掛け渡す。 （もっと読む）