【課題】 ソース／ドレイン電極材料に銅を用いた場合の加工時のバリアメタル層のアンダーカットに起因する特性不良を防止し、低抵抗配線が充分に実現できるＴＦＴの構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のＴＦＴの構造は、ガラス基板２上のゲート電極３と、ゲート絶縁膜４と、ゲート絶縁膜４上にゲート電極３に対向配置された半導体能動層５と、半導体能動層５の両端部上に設けられたオーミックコンタクト層６と、各オーミックコンタクト層６を介して半導体能動層５に電気的に接続されたソース電極７、ドレイン電極８とを有している。そして、ソース電極７およびドレイン電極８が銅で形成され、これらソース電極７、ドレイン電極８の下面のうち、各オーミックコンタクト層６の上面上に位置する領域にのみバリアメタル層９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示素子用基板の洗浄工程において、ブラシを用いる洗浄や低周波の超音波振動を付与した純水を用いた洗浄では、有機物や金属汚染物を有効に除去することができない。
【解決手段】 オゾン水生成装置１８において純水にオゾンを混合してオゾン水を生成する。気液分離装置１７で前記オゾン水の過飽和の余剰ガスを分離させ、気液分離後のオゾン水に対し吐出部１５にて超音波振動を与え、被洗浄物Ｗに与える。オゾンの酸化力により有機物や金属汚染物を除去でき、また超音波によりパーティクルを有効の除去できる。気液分離装置１７で余剰ガスを分離させているため、オゾン水に超音波振動が与えられるときに気泡が形成されにくく、よって振動板の寿命低下を防止でき、また洗浄室Ｂから多量のオゾンガスが発生するのを防止できる。 （もっと読む）