説明

株式会社マツボーにより出願された特許

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【課題】大気中で安定して仕事関数が4.5eVより低い値を保持することができる酸化物透明導電膜およびその成膜方法を提供する。
【解決手段】酸化インジウム錫などの酸化物透明導電膜に、セシウム、リチウム、ナトリウム、カリウム、およびルビジウムのいずれかのアルカリ金属を含有させる。スパッタリング室11内にボンベ18からアルゴンなどのプラズマガスを流し、スパッタリング室11内に配置されたターゲット12からガラス基板15に酸化物透明導電膜材料をスパッタリングする。ガラス基板15の中心位置Pはターゲット12の中心位置Qからずれた位置に配置されている。ターゲット12からガラス基板15に酸化物透明導電膜材料をスパッタリングするとき、スパッタリング室11内のプラズマ空間の中心からガラス基板15にかけての空間にセシウム蒸発源21によりセシウム蒸気を導入する。 (もっと読む)


【課題】製造が簡単で歩留まりが高く、ドライプロセス以外にウエットプロセスを混在させて材料選定の制限を少なくすることができるカラー表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】透明導電性基板11上に赤色透明有機EL発光層12を形成し、その上に透明電極13を形成した赤色TOLED10と、透明導電性基板21上に緑色透明有機EL発光層22を形成し、その上に透明電極23を形成した緑色TOLED20と、透明導電性基板31上に青色透明有機EL発光層32を形成し、その上に透明電極33を形成した青色TOLED30とを各透明導電性基板11、21、31と、各々重ねて積層する。 (もっと読む)


【課題】製造が簡単で歩留まりが高く、ドライプロセス以外にウエットプロセスを混在させて材料選定の制限を少なくすることができるカラー表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】透明導電性基板11上に赤色透明有機EL発光層12を形成し、その上に透明電極13を形成した赤色TOLED10と、透明導電性基板21上に緑色透明有機EL発光層22を形成し、その上に透明電極23を形成した緑色TOLED20と、透明導電性基板31上に青色透明有機EL発光層32を形成し、その上に透明電極33を形成した青色TOLED30とを各透明導電性基板11、21、31と、各々重ねて積層する。 (もっと読む)


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