【課題】
３個の変位計間の相対角度が正確であるかどうかを評価することができ、回転軸の回転ムラを補正することができ、変位計の中心位置が回転軸上の同じ測定部位を指しているかどうかを評価することができ、ひいては３点法の特性を有効にかつ容易に活用して回転軸の回転精度を測定することができる回転精度測定方法を提供する
【解決手段】
それぞれの中心位置が回転する測定対象物の外周面上の同一回転軌跡上にあるように配置した３個の非接触型の変位計のプローブによって前記測定対象物の回転運動を測定し、前記測定対象物の回転精度成分と前記測定対象物の形状成分とを含む前記変位計の出力信号を処理して前記形状成分を分離して前記測定対象物の回転精度を測定する方法であって、前記処理の前に前記変位計の出力信号における前記回転の回転速度のムラを補正する （もっと読む）

【課題】ウェーハを保持するときにグリッパーの傾きがあっても、一定の状態で安定してウェーハを保持できるグリッパー、及び保持方法、並びに形状測定装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ６の形状測定の際に半導体ウェーハ６を保持するための短冊形状の保持用グリッパー１であって、半導体ウェーハ６を保持する側がラウンド形状であり、ラウンド形状部４の側面に、側面に沿って半導体ウエーハ６のエッジ７を保持するための溝５を有し、ウェーハ６の周囲から溝５が半導体ウェーハ６のエッジ７に当接して半導体ウェーハ６を保持する。 （もっと読む）