【課題】液晶ディスプレイ基板用に所望の物理および化学特性を示すアルカリを含まないガラスを提供する。
【解決手段】ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３、ＭｇＯ、ＣａＯ、およびＢａＯと、任意にＳｒＯとを含むアルカリを含まないガラスであって、このガラスの組成が、
（ａ）［ＭｇＯ］：［ＣａＯ］：［ＳｒＯ＋ＢａＯ］＝１±０．１５：１±０．１５：１±０．１５、および
（ｂ）１．１５≦Σ（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）／（Ａｌ_２Ｏ_３）≦１．５５
という関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】ガラスシートを成形する際に使用される牽引ローラにおいて、粒子状物質が牽引ローラの表面に埋め込まれたり牽引ローラから粒子状物質が落ちたりすることにより、ガラスシートに損傷が与えられたり欠陥が形成されたりするのを防止する。
【解決手段】牽引ローラ２００ａ、２００ｂが、シャフト部材２０２と、シャフト部材上に位置付けられた軟質カバーアセンブリとを含む。軟質カバーアセンブリは、複数のスプリング部材２０４とこれに一体的に形成されている環状ハブ２０６とを有した、１以上の牽引ディスクを含んでいる。複数のスプリング部材は、その夫々の自由先端部がその基端から放射状に外側に位置するように、環状ハブから外側へと突出している。軟質カバーアセンブリがガラスシートの表面と接触すると、スプリング部材が環状ハブの中心に向かって放射状に内側へと歪み、それによりガラスシートの損傷を防止する。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザの金属接触構造において、位置合わせエラーを除去する。
【解決手段】半導体レーザの金属接触構造を作製する方法が提供され、この方法は、紫外線透過性半導体基板と、エッチングによって形成されたエピ層エッジ間に配置されるリッジを画定し、紫外線透過性半導体基板を覆って配置される紫外線透過性半導体エピ層と、およびエピ層リッジを覆って配置される紫外線不透過性金属層とを提供する工程、不透過性金属層とエピ層エッジとを覆って少なくとも１つのフォトレジスト層（ポジ型フォトレジスト、画像反転フォトレジスト、またはネガ型フォトレジスト）を塗布する工程、およびフォトレジスト層の領域をフォトリソグラフィマスクとして用いられる不透過性金属層と共に紫外線光で裏面照射することにより選択的に現像する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】低レベルの偏光誘起複屈折、低レベルの光誘起波面歪曲及び高レベルの初期内部透過率を有する、合成石英材料及びその作成方法を提供する。
【解決手段】開示には約３００ｎｍより短波長におけるリソグラフィに用いるための光学素子に使用することができるＯＤドープ合成石英ガラスが含まれる。ＯＤドープ合成石英ガラスはＯＨ濃度が同程度の無ＯＤドープ石英ガラスよりもかなり小さい偏光誘起複屈折値を有することがわかった。ＯＤドープ合成石英ガラス、そのようなガラスからなる光学部材及びそのような光学部材を備えるリソグラフィシステムも開示される。ガラスは、約１９３ｎｍにおける偏光誘起複屈折値が極めて小さいことから、浸漬リソグラフィシステムに特に適する。 （もっと読む）

【課題】 ガラスリボンの製造において、ガラスリボンの熱応力補償を提供する。
【解決手段】 溶融ガラス１２１を延伸方向２０７に粘性区域３０７へと延伸して、延伸方向２０７に延在するガラスリボン１０３を形成する。溶融ガラス１２１を粘性区域３０７から固化区域３０９へと延伸する。ガラスリボン１０３は、粘性状態から弾性状態へと固化する。ガラスリボン１０３を弾性区域３１１に延伸する。ガラスリボン１０３の幅に沿ってそれぞれの横位置でガラスリボン１０３の応力特徴を検出する。粘性区域３０７、固化区域３０９および弾性区域３１１の少なくとも１つにおいてガラスリボン１０３の幅に沿って配置された複数の温度調節要素２２３の動作を独立して調節することによって、ガラスリボン１０３の横断温度プロファイルを変化させる。温度調節要素２２３は、応力特徴を検出する工程中に得られる応力特徴情報に基づいて独立して調節される。 （もっと読む）

【課題】Ｔｚｃに対する許容値、ＣＴＥ対温度の傾き、およびＴｚｃの空間的均一性などの特定のパラメータに対して必要な改善がなされ、かつ２５ｎｍ未満のノードのリソグラフィにシステムの素子として使用するのに適した、ドープされたシリカ・チタニアガラスを提供する。
【解決手段】選択された重量のシリカ・チタニア粉末と選択された重量のドーパント粉末とを検量して、このシリカ・チタニア粉末および選択されたドーパント粉末を混合し、さらに選択された流体を用いて、この混合された粉末のスラリーを形成する。このスラリーを噴霧乾燥して、およそ２００μｍ以下の直径サイズを有する自由流動微粒子を含んだ粉末を形成する。この粉末を、一軸加圧成形を用いて、次いでさらに冷間静水圧加圧を用いて、成形品に成形し、この成形品をホットプレスにより固化してドープされたシリカ・チタニアガラスブランクとし、さらにガラスブランクをアニールする。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスをキャラクタリゼーションするための装置および方法を提供する。
【解決手段】 板ガラス２８を、板ガラス２８が装置を通過して移動する際にキャラクタリゼーションするための装置は、環状の内部多孔質体部分と、前記内部多孔質体部分の周りに配置された外部多孔質体部分とを含む空気軸受４４であって、前記内部多孔質体部分が空気軸受４４の厚さ全体に延びる中心通路を画定するものである空気軸受４４；板ガラス２８の移動の方向５０を基準として空気軸受４４の上流側に配置された複数の安定化エアナイフ５２ａ，５２ｂ；および板ガラス２８の少なくとも１つの特性を測定するための測定デバイスであって、空気軸受４４の前記中心通路と並んでいる測定デバイス；を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラスリボンの自由先端部からガラスシートが切断および除去された際に生じる、ガラスリボンの重量の減少による突然のリボンの形状変化を防ぎ、さらにそれによるガラスリボンの延伸プロセスの混乱を回避する方法を提供する。
【解決手段】ダウンドロープロセスを用いて、長さと自由先端部とを有する連続的に動いているガラスリボンを成形する。リボンの長さは時間の関数として変化し、この連続的に動いているガラスリボンに重量補償装置８４を係合させる。重量補償装置８４がガラスリボンに下向きの力を加える。この力の大きさを、ガラスリボンの長さに反比例するものとし、すなわちガラスリボンの長さが増加するにつれて加える力を減少させる。さらに、連続的に動いているガラスリボンに罫書き線６０を形成し、この罫書き線６０の位置でガラスリボンの一部を分離して、ガラスシートを成形する。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射面の形状を測定する方法が提供される。
【解決手段】ターゲット面１４２に配置されたターゲット１４０の表面１４４に表示されたパターンを測定面１２２に配置された鏡面反射面１２４から反射させる。反射の画像が撮像面１５４において記録される。撮像面１５４に対する鏡面反射面１２４上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第１の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第１の関係を含む第２の関係から鏡面反射面の形状が決定される。 （もっと読む）

【課題】フィルタ管理体制全体を改善し、より安全な再生条件、より効果的なエネルギー利用、および増大された融通性を提供して、フィルタ内における、より高い煤負荷量を安全な態様で管理すること。
【解決手段】ディーゼル微粒子フィルタの再生方法は、ディーゼル微粒子フィルタの入口に流入するガス流の温度を、ディーゼル微粒子フィルタの入口において４５０℃以上に高め、その場合に、ディーゼル微粒子フィルタの入口におけるガス流が３００ppm 以上の量のＮＯ_Ｘと、５体積％以上のＯ_２とを含み、これにより、ディーゼル微粒子フィルタ内の煤を焼却することを含む。この方法はまた、ディーゼル微粒子フィルタの入口に流入するガス流の温度を、ディーゼル微粒子フィルタの入口において５５０℃以下に高め、その場合に、多孔質の壁からの煤の焼却速度が３．８グラム／リットル／時以上である。 （もっと読む）