【課題】 ガラス撹拌プロセス中において、凝縮により形成される汚染物を減少させる。
【解決手段】 溶融ガラス３０を撹拌容器１２中に流す。撹拌容器１２の上に配置された撹拌容器の蓋１４の表面により画成された開口を通じて延在し、それによって、撹拌機１６と撹拌容器の蓋１４との間に環状間隙５２を形成する撹拌機１６により溶融ガラス３０を撹拌する。撹拌容器の蓋１４の開口画成表面４０を、開口画成表面４０に近接して位置する加熱素子５６により加熱する。環状間隙５２内の温度を、撹拌容器の蓋１４内に配置された熱電対により検出する。検出された温度を使用して、加熱素子５６に供給される電流の大きさを制御し、それによって、開口画成表面４０の温度を調節する。これにより、蓋に凝縮する、溶融ガラスおよび／または撹拌装置から生じる揮発性物質を減少させる。 （もっと読む）

【課題】低レベルのストリエーションを有する極紫外光光学素子及び極紫外光光学素子を製造するためのガラスブールを提供する。
【解決手段】研磨され、整形された表面を有し、０.２メガパスカル（ＭＰａ）より小さい山対谷ストリエーションレベルを有する、チタニア含有シリカガラスを含み、当該ガラスが、５重量％と１０重量％の間のチタニアを含有する。前記ガラスは、２０℃と３５℃の間で＋３０ｐｐｂ／℃から−３０ｐｐｂ／℃の範囲の熱膨張係数（ＣＴＥ）を有する。 （もっと読む）

【課題】 光学装置において、光学成分のアライメントの複雑さを単純にし、その費用を低減させる。
【解決手段】 光学装置２０は、曲率主中心Ｃを備えた主球状光学面３４を有する主光学素子２２であって、主球状光学面３４が、光学装置２０の有効開口の外側に延在する周辺部Ｐを有するものである主光学素子２２と、副光学素子３０とを有する。マウント２４は、
主光学素子２２から離して配置された副光学素子３０を吊るす。マウント２４が複数の脚部２８を備え、各脚部２８は主光学素子２２と副光学素子３０との間に延在し、主光学素子２２の周辺部Ｐに支えられている周辺係合面３２で終端している。周辺係合面３２は、曲率主中心Ｃと実質的に同軸の曲率係合面中心を有する。 （もっと読む）

【課題】 ＥＵＶリソグラフィーに使用するための反射光学素子において、ＥＵＶリソグラフィーの必要性を満たすように改良する。
【解決手段】 照射線硬化された少なくとも１つの面を有するシリカ−チタニアガラス基体および該硬化された面上の選択された多層反射コーティングからなる。前記多層反射コーティングが金属ケイ化物多層コーティングであり、前記シリカ−チタニアガラスが３〜１２質量％のチタニアおよび８８〜９７質量％のシリカからなる。前記反射コーティングが３０〜６０のコーティング周期からなり、各周期が１つの金属層および１つのケイ素層を有し、該金属層が、前記基体の照射線硬化された面の上面の最初の層であることが好ましい。前記金属層および前記ケイ素層の各々が、約２ｎｍから約５ｎｍの範囲の厚さを有することも好ましい。 （もっと読む）

【課題】 フュージョン法に使用するのに適した構造を有する本体を含むアイソパイプを提供する。
【解決手段】 この本体は、（ｉ）少なくとも９０体積パーセントの結晶性Ａｌ₂Ｏ₃を含み、（ｉｉ）ガラス相を含むアルミナ耐火物を含む。このガラス相のガラスが、（ａ）アルミナとシリカを含み、酸化物基準で、前記アルミナとシリカが前記ガラスの少なくとも９０モルパーセントを構成し、（ｂ）酸化物基準で、前記ガラスが、２モルパーセント以上の、アルカリ土類に希土類を加えた含有量を有し、（ｃ）酸化物基準で、前記ガラスが、５．５モルパーセント以下のアルカリ含有量を有する。このアルミナ耐火物は、１０，０００ｐｓｉ（約６９ＭＰａ）の応力を印加して１２００℃で試験したときに、少なくとも１時間の破損するまでの時間に関する静疲労を有する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板を製造するためにフュージョン法に使用するアイソパイプにおいて、アルカリガラスに使用できるアイソパイプを提供する。
【解決手段】 アイソパイプを使用して溶融ガラスをガラスリボンに形成する。このガラスリボンからガラス板を分割する。アイソパイプは、リボンの形成中に溶融ガラスと接触するアイソパイプの少なくとも１つの表面の少なくとも一部分を形成するアルミナ耐火物を含む。ガラスリボンの形成中にアイソパイプのアルミナ耐火物と接触する溶融ガラスの最低温度を_minとする。溶融ガラスがＴ_minでスズ溶解度Ｓ_tinを有する。溶融ガラス中のスズの濃度Ｃ_tinが以下の関係式を満たす：Ｃ_tin≧０．５Ｓ_tin。アルミナ耐火物中のスズ濃度が、酸化物基準で、１．０質量パーセント以下である。アルミナ耐火物中のチタン、ジルコニウム、およびハフニウムの濃度の合計が、酸化物基準で、１．５質量パーセント以下である。 （もっと読む）

【課題】有用な光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子において、形成されたガラス材料中にＣｅ⁴⁺を示さないアルカリアミノケイ酸塩ＮａＦ含有ガラス材料、および、アルミノケイ酸塩ＮａＦ含有ガラス材料中に形成された屈折率パターンであって、屈折率パターンが高屈折率の領域と低屈折率の領域を含み、高屈折率の領域と低屈折率の領域との間の差が６３３ｎｍの波長で少なくとも４×１０^-5である屈折率パターン、を含む。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】幅の短い波状変動と認識される一般的な種類の厚さ変動を排除または大幅に減少させる。
【解決手段】溶融ガラスの連続したリボンを成形する装置が、底部で合流する合流成形面を備えている成形本体と、成形本体の周囲に配置されるエンクロージャと、エンクロージャに連結される冷却ユニット３８とを含み、この冷却ユニットが、固定具４２と、固定具内に配置された旋回部材４６と、旋回部材に連結された冷却管４０とを含む。旋回部材は、この旋回部材を貫通する少なくとも１つの軸５２に関して回転するように構成され、冷却管は、成形本体上を流れる溶融ガラスに向かって冷却ガス流を向けるように構成される。軸５２に関して旋回部材を回転させると、冷却管の先端の、成形本体に対する横方向の位置が変化する。 （もっと読む）

【課題】 レーザビームをその表面上に通過させることによりガラスに浅い切り目を付ける。
【解決手段】 レーザ30を作動させて第１のビーム32を形成する。第１のビーム32をレンズ34により変換して、ガラスに入射する場所で長軸と短軸を有する細長い楕円形ビームスポットを有する第２のビーム36を形成する。第２のビーム36の端部に対応する第２のビームの一部を物理的に遮断して、第２のビームのスポットの長軸を減少させ、かつ第３のビーム37を形成する。第３のビーム37をガラス10の表面に亘り移動させて、加熱されたガラスを形成する。移動している第３のビーム37の後縁から所定の距離で、加熱されたガラス上に冷却液24をノズル22から流して、ガラス10中に亀裂20を形成する。 （もっと読む）