【課題】Ｘ−Ｙテーブルの送りねじピッチに対する正確精密な数値移動を高精度に維持することができる、製作コストの安価なマイクロスコープ等の光学測定機器におけるＸ−Ｙテーブルの駆動用送りねじ機構を提供する。
【解決手段】送りねじ１３が正確に水平でかつテーブル面と平行となるようにするため、送りねじナットホルダ１７の高さ位置を、これと接続固定する連結板８との間に間隙が生じるように製作し、この間隙中に薄肉の上記シム板を１枚又は複数枚挟み込んで、送りねじ１３を正確に水平に保持できるように構成してなることを特徴とする。また、送りねじ１３端部のガタを解消するため、送りねじ１３のねじ切り部分の長さは、該送りねじ１３を回転自在に支持する前記両端部のベアリング間の距離よりも若干短くし、ワッシャにより送りねじ先端方向に向けて押圧するよう賦勢するよう構成する。 （もっと読む）