【課題】バッチローダーを有する二本アーム基板取扱いロボットを用いた基板の改良した取り出し方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、第一基板を保管場所から単一のパドルで取り出すステップを含む。一組の基板が保管場所から複数基板用バッチローダーを用いて取り出される。複数基板用バッチローダーが保持する基板数を示す真空信号が得られる。複数基板用バッチローダーの運動は、複数基板用バッチローダーが完全に装荷されていないことを真空信号が示したとき、変えられる。本方法はまた、保管場所にある基板数を判定するステップを含むこともある。個々の基板は保管場所から複数基板用バッチローダーの完全装荷を促進するよう取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】融通性に富んだモジュール構造式のロボットを提供すること。
【解決手段】基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも１つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも１つのモータモジュールの選択によりなされる。 （もっと読む）

【課題】冷凍プロセスのための高効率の熱交換器などを提供する。
【解決手段】熱交換器（５００）が、気体および液体を含む少なくとも２つの相を含んでいる流体である極低温用の混合冷媒が進入する流体入口マニホールド（５０２）、流体出口マニホールド（５０８）、流体入口マニホールド（５０２）および流体出口マニホールド（５０８）と連通するように構成されて混合冷媒が流れる複数の熱伝達チャネル（５０４）、ならびに流体入口マニホールド（５０２）内に位置する複数の充填材要素（５１０）を備えている。 （もっと読む）

【課題】シングル及びマルチアームロボットマニピュレータの単純及び合成移動に対して、追跡容易、即ち連続する加速度プロファイルを有する時間最適軌道の信頼性を呈し且つ効率の良い生成を行うシステムを提供すること。
【解決手段】ポイント（２及び３）間のシングルアームロボットに対する直線に沿う移動用の形状の汎用軌道を想定する。時間最適軌道は、所定の制約を犯さずに可能となる最短時間内で所定路に沿った選択されたエンドエフェクタの移動であり、位置、速度、加速度プロファイルのセットであり、特別な場合が最適中止軌道であり、これは、最短時間内で、移動するアームを完全休止状態に持っていく。システムは、各移動の軌道を互いに直交する成分に分解し、次に所定時間毎にこれらの成分を重畳することによって、単純移動を単一軌道に合成する行程も含む。この合成によって、円滑な搬送路に沿ったノンストップ移動が生じる。 （もっと読む）

【課題】第３種の気体について高い排気速度をもたらすクライオポンプを提供する。
【解決手段】前部クライオパネル・アレイが開放的な構成であることで、気体を第２段のアレイに向かって集中させるように形作られた放射シールドへの気体の高いコンダクタンスがもたらされる。第２段のアレイは、吸着剤で被覆されたバッフルからなる開放的な構成を有している。実質的にすべての吸着剤が、放射シールドまたは放射シールドの開口への直接の視線を有しており、実質的にすべてのバッフルが、吸着剤で被覆されている。１つの形態において、第２段のクライオポンプ・アレイは、円板をおおむね球形の包絡面を形成するように扇形に配置したアレイを有している。 （もっと読む）

【課題】不調または故障の原因を容易に割り出すことができる周囲のガス圧を測定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】周囲のガス圧を測定するための装置は、ゲージ・アセンブリーにおいて、真空ゲージ１６５と、真空ゲージ１６５に結合された不揮発性メモリ１４０と、計器の故障後に故障の原因を調査できるように、真空ゲージ１６５によって検出された測定データを不揮発性メモリ１４０に保存してエラー事象に応答するマイクロコントローラ３８０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】非反応性の冷媒を用い、従来よりも低い温度を達成できる冷却システムを提供する。
【解決手段】クロロフルオロカーボン、ヒドロクロロフルオロカーボン、フルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボン、フルオロエーテル、およびヒドロカーボンを含んでおらず、かつＡｒ、Ｎ_２、Ｋｒ、Ｎｅ、Ｘｅ、Ｈｅ、Ｏ_２、ＣＯ_２、およびＮ_２Ｏからなるグループのうちから選択される少なくとも３つの別個の成分を含んでいる混合成分冷媒を有する少なくとも１つの冷媒サイクルを備えており、混合成分冷媒が、少なくとも１２Ｋまで冷却する冷凍システム。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置（10）を使用する方法を提供する。
【解決手段】該装置はケーシング（11）及びドア（13）を有する。該ケーシングは調節された環境を内部に形成する。該ケーシングは少なくとも１つの基板（s）を該ケーシング内に保持すべく、内部にサポート部（12、14）を有している。該ケーシングは基板搬送開口部を画定し、かかる開口部を介して基板搬送システムがケーシング内の基板にアクセスする。該ドアは、ケーシング内の基板搬送開口部を閉鎖すべくケーシングに結合している。ケーシングは迅速に交換する構成要素を形成する構造を有し、よって基板搬送システムを退避せしめることなくケーシング内の基板のローディングとは独立して該装置からの基板を他の基板と交換することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】１装置当たりの処理能力を増加する基板搬送装置。
【解決手段】半導体加工部品処理装置は第１チャンバと、搬送ビークルと、他のチャンバとを有している。第１チャンバは外部環境から隔離されることが可能である。搬送ビークルは第１チャンバ内に位置しており、第１チャンバから移動自在に支持されており、第１チャンバに対して直線状運動する。搬送ビークルはベースと、該ベースに運動自在に取り付けられて、該ベースに対して多アクセス運動が可能な統合した半導体加工部品移送アームとを有している。他のチャンバは第１チャンバに第１チャンバの閉鎖自在な開口部を介して連通自在に接続されている。開口部は搬送ビークルが第１チャンバと他のチャンバとの間で開口部を介して通行可能な大きさを有している。 （もっと読む）

【課題】床面積当たりの高いスループットを有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板搬送部２４と基板処理チャンバ２６、２７とを含む基板処理装置２２において、基板搬送部は、搬送チャンバ３２と搬送機構３４とを有する。搬送機構は、回転可能ドライバ４８と、ドライバに回動可能に接続して鉛直方向に回動するアーム５０と、関節を有する手首６４によってアームの端部に回動可能に接続されている基板ホルダ５２とを有する。アームは、基板ホルダ５２を鉛直方向に上下動できる。基板処理チャンバは、鉛直方向に２つの異なるレベルで搬送チャンバに固定接続している。 （もっと読む）