【課題】濾過装置に設けられているフィルターで濾し取られて表面に蓄積した異物を自動的にクリーニングして排出する機構を備えた濾過装置の提供を目的とする。
【解決手段】被処理液流入口を有するハウジング１１と、該ハウジング内に収納され該ハウジング内に流入させた被処理液から異物を濾し取るフィルター１２と、該フィルターを通過した被処理液をハウジング外に流出させる流路１６と、前記フィルターの表面を近接移動するノズル１８を有し濾し取られて表面に蓄積した異物を真空ポンプにより吸い込むクリーニング手段１８，１９，１９ａ，２４５１と、前記ハウジングに接続され気体の給排気及び排水により該ハウジング内の処理液面の高さを調整し前記クリーニング手段を作動させる際に該クリーニング手段のノズルの吸い込み位置を気体状態にする給排気手段２７，２８，２９，３０，３１とを備えた。 （もっと読む）