説明

学校法人 関西大学により出願された特許

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【課題】ナノ単位の自律応答性ゲルの配列体及びその製造方法、並びにナノ単位の自律応答体及びその製造方法の提供。
【解決手段】本発明の自律応答性ゲルの配列体は、多孔質の陽極酸化アルミナと、前記陽極酸化アルミナの細孔内に存在する自律応答性ゲルとを有する。本発明の自律応答体は、前記多孔質の陽極酸化アルミナを鋳型及び固定化土台に用いた自律応答性ゲルの配列体と、反応拡散を伝達する反応基質とを含んで構成される。 (もっと読む)



【課題】 半導体ウェハに対する回路パターンの転写を阻害するデブリを発生させることなく、半導体ウェハに高集積化した回路を形成するのに最適な短波長の光を発生させることのできる半導体リソグラフィ用光源を提供する。
【解決手段】 半導体ウェハ上に回路パターンを形成するための短波長の光を発生させる半導体リソグラフィ用光源であって、負圧の状態で希ガス又は希ガスを含んだ混合ガスが充填される内部空間を画定した外周壁部を有する光源本体と、前記内部空間内に所定の軸線周りの回転磁場を発生させる磁場発生手段とを備え、前記光源本体は、少なくとも外周壁部が電気絶縁性を有する非磁性の材料で構成されるとともに、少なくとも一部に短波長の光成分又は該光成分を含んだ光を内部空間から外部へ放出させる光放出部が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)



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