説明

モット・コーポレーションにより出願された特許

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【課題】作動中、高い粒子の捕捉効率及び/又は低圧力降下を実現することができると共に、半導体の加工のような用途にて有用な焼結した繊維フィルタの提供。
【解決手段】フィルタを形成すべき使用される個別の繊維、例えば金属繊維の少なくとも一部分の形状体は、低い充填密度及び高い多孔性のフィルタ媒質を許容する、三元的アスペクトを有している。特定のフィルタ600は、高密度のテーパー付き端部606を有する円筒状又は管状の形状体を有しており、加圧成形法を使用してかかるフィルタは製造される。 (もっと読む)


作動中、高い粒子の捕捉効率及び/又は低圧力降下を実現することができると共に、半導体の加工のような用途にて有用な焼結した繊維フィルタが提供される。フィルタを形成すべき使用される個別の繊維、例えば金属繊維の少なくとも一部分の形状体は、低い充填密度及び高い多孔性のフィルタ媒質を許容する、三元的アスペクトを有している。特定のフィルタは、高密度のテーパー付き端部を有する円筒状又は管状の形状体を有している。例えば、加圧成形法を使用してかかるフィルタを製造する方法も記載されている。 (もっと読む)


【課題】連続的処理形態のろ過システムの洗浄局面の間、プレナムを介して高圧のブローバックガスをフィルタエレメントに提供する改良された方法及びシステムを提供する。
【解決手段】プレナム利用の高圧のブローバックガス送り出しシステムが提供される。システムは、流体の入口103,出口105を含む、2つの部分に分割されたフィルタ容器を含む。システムは、第一の容器部分から第二の容器部分内に流れる流体をろ過する複数のフィルタエレメント104を更に含む。特定の物質がフィルタエレメント上に付着することに起因する圧力差に応答して、第二の容器部分内に保持されたプレナム109に装着されたノズル110を介して、高圧のブローバックガスの均一な流れがフィルタエレメントに送り出される。 (もっと読む)


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