【課題】ダイヤフラム弁体が破れることがあっても駆動部の環状シール部材等からの油分等の溶出を防止できると共に、ダイヤフラム弁体の破れ等の異常を迅速に検知できる液体制御弁を提供する。
【解決手段】薬液制御弁２１は、液体通路２７の途中に形成された弁口２８を有するボディ２２と、この弁口２８を開閉するためのダイヤフラム弁体２４と、この弁体２４を開閉動作させると共に必要部位にＯリング１４ａ，１４ｂが配された空気圧式駆動部２３とを備えている。この駆動部２３とダイヤフラム弁体２４との間にダイヤフラム部材２５を設けることにより、空気圧式駆動部２３側への液体の浸入を防止することができる。薄膜部２４ｂから薬液が浸入しても、この薬液を、溝部４５から漏液検出ポート４５ａを介して排出し液体検出センサによって検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 駆動源たる圧縮空気の供給不足が生じても排水弁からの液体の流出を防ぐことができるとともに、過大水圧による液体の流出を防止することができる排水弁を提供する。
【解決手段】 筐体４に形成された弁口１２ａと、この弁口１２ａを開閉する弁体２２とを有する排水弁３は、前記弁体２２を開閉動作させるための空気圧型駆動部１３を備えている。前記弁体２２は、前記弁口１２ａより径大に形成されるとともに該弁口１２ａの流入側においてこれと密接及び離間するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 弁口に対する弁体の隙間調整と、弁体の全開位置の調整とを簡単に行うと共に、構造も簡単となるようにする。
【解決手段】 制御弁１は、ボディ２と、空気圧式駆動部３と、スタッフィング４と、ダイヤフラム形の弁体５と、ベースプレート６、第１の調整部材１２、第２の調整部材１３などから成る。空気圧式駆動部３のピストン１１には第１の被係止部１１ｃ及び第２の被係止部１１ｄが形成されている。第１の調整部材１２には第１の被係止部１１ｃを係止して弁体５の閉塞方向限度位置を規制する第１の係止部１２ａが設けられ、第２の調整部材１３には第２の被係止部１１ｄを係止して弁体５の全開位置を規制する第２の係止部１３ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ヒートサイクル環境下で使用されることがあっても、液漏れを確実に防止できるようにする。
【解決手段】 薬液制御弁２１は、ボディ２２と、空気圧式駆動部２３と、スタッフィング２４と、ダイヤフラム形の弁体２５とを備えている。ボディ２２には、弁口２８を囲うように取り付け部２９が形成され、この取り付け部２９の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部２９ａ及び外周リング部受け部２９ｂが形成されている。スタッフィング２４は雌ねじ部２９ａにねじ込まれて取り付け部２９内周に取り付けられ、弁体２５の外周リング部２５ｃを外周リング部受け部２９ｂに水密に押圧固定している。空気圧式駆動部のシリンダ３０には、ボディ２２の取り付け部２９における雌ねじ部２９ａ領域の外周部部分と当接嵌合する嵌合部３４を一体に形成している。 （もっと読む）