本発明は、ナノリソグラフィー装置、及び基板に原子力顕微鏡のチップから固体有機“インク”をデポジションするのを熱的に制御する方法に関する。本発明は、インクの融解温度以上に温度を上げること又はインクの融解温度以下に温度を下げることによって基板へのインクのデポジションオン又はオフするのに用いられ得る。この方法は、チップと基盤との接触を断つことなしにデポジション速度を変えることができしかもインクのデポジションをオンオフできるので有用である。汚染の恐れなしに像形成のために同一チップを使用することができる。本発明は、真空包囲体内でインクをデポジションすることができ、また使用するインクは一度冷却すると他のナノリソグラフィー方法において用いられたものより表面移動度が低いので、大きな空間的分解能が得られる。 （もっと読む）