説明

株式会社ブイ・テクノロジーにより出願された特許

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【課題】人為的な設定ミスにより、マスクパターンが異なる複数種のパターン領域から狙いと違うパターン領域が選択されるのを防止する。
【解決手段】同一のマスク基板9上にマスクパターンが異なる複数種のパターン領域10を並べて設けたフォトマスク8であって、前記各パターン領域10の外側に、前記マスクパターンを識別するための複数種の識別マーク11を形成したものである。 (もっと読む)


【課題】セルレイアウトが異なる基板を露光する際にも、高効率且つ低コストでパネルを露光できる露光装置及びこの露光装置に使用される遮光板を提供する。
【解決手段】露光用マスク20は、表示パネルに対応するパターン領域20aが複数個配列されている。マイクロレンズアレイ22は、スキャン方向に垂直の方向に2個のマイクロレンズアレイチップ22aが、その一部がこのスキャン方向に垂直の方向に相互に重なるように設けられている。遮光板30は、マイクロレンズアレイチップ22aの一部を遮光するものであり、遮光板30の開口部は、一方のマイクロレンズアレイチップ22aが2個のパターン領域20aのみを露光し、他方のマイクロレンズアレイチップ22aが他の3個のパターン領域20aのみを露光するように、マイクロレンズアレイチップの光透過を規制する。 (もっと読む)


【課題】光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及び皺を発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができるフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼付装置1は、ステージ11に基板2が載置され、保持部材15により搬送されたフィルムをチャック部材12により保持する。チャック部材12は平板状に形成された圧着部材13の圧着面を複数個に分割する各領域に対応して設けられている。そして、チャック部材12により光学フィルム3を保持した状態で、フィルム3がステージ11上の基板2に対して所定位置にあるときに、圧着部材13により、チャック部材12を介して光学フィルム3を基板2の上面に圧着する。 (もっと読む)


【課題】人為的ミスにより異なる種類のフォトマスクが取り付けられるのを防止する。
【解決手段】マスクパターンを形成したパターン領域17外の部分にマスクの種類を識別するための第1の識別マーク18を形成した。 (もっと読む)


【課題】
筐体の材質がポリエーテルイミドであることにより、紫外線に強い筐体を備えたレーザチャンバを提供する。
【解決手段】
筐体11と、前記筐体11の内部に設けられ、光を発するフラッシュランプ12と、前記筐体11の壁面内部に設けられ、前記フラッシュランプ12を点灯するトリガ電圧を印加するトリガ電極13と、前記筐体11の内部に設けられ、前記フラッシュランプ12の発光によって励起され、光を放出するレーザ媒質14と、を含んで構成され、前記筐体11の材質は、ポリエーテルイミドとされている。 (もっと読む)


【課題】
先端部がテーパ状に細くなったニードル管を備えるインクカートリッジに関し、詳しくは、前記ニードル管をカートリッジ部材に着脱可能に固定することによって、前記ニードル管を交換可能としたインクカートリッジを提供する。
【解決手段】
先端部がテーパ状に細くなったニードル管10と、前記ニードル管10の全長よりも短寸とされ、上面に前記ニードル管10を設置するための溝部21が形成されたカートリッジ部材20と、前記カートリッジ部材20の上面に取付けられ、前記溝部21に設置された前記ニードル管10を前記カートリッジ部材20に着脱可能に固定する固定部材30と、を含んで構成されたものである。 (もっと読む)


【課題】
閉曲線からなる任意形状の部材を容易かつ短時間にレーザ加工することができる。
【解決手段】
本発明のレンズおよびそのレンズを搭載したレーザ加工装置は、被切断材に対して、閉曲線からなる任意形状の部材を切断するためのものであって、凸型シリンドリカルレンズのシリンドリカル面の頂点を結んだ線が上記閉曲線からなる任意形状と同一の形となるように、凸型シリンドリカルレンズを閉路形成されるように成形されたものからなる。 (もっと読む)


【課題】対物レンズを透過したレーザ光を加工対象部材に安定的且つ容易に合焦点できるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置1は、光源2から出射されたレーザ光の光路上に、レンズ支持部4によって支持された対物レンズ5が配置されている。レンズ支持部4は、椀状の支持部材41と、その開口端面に固定された多孔質材料からなる多孔質部材43を有しており、支持部材41には、給気部から多孔質部材43へと空気を導く空気流路4aが形成されている。空気流路4aに接続された給気ホース44から給気すると、多孔質部材43からは、下方に空気が噴気され、レンズ支持部4が浮上し、支持部材41の内側空間に接続された排気ホース45により排気することにより、レンズ支持部4の高さが安定的に保持される。これにより、対物レンズ5を透過したレーザ光をガラス6に安定的且つ容易に合焦点できる。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の分割のための処理時間を短縮することができ、ゴミの発生が防止されたガラス基板のレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源から、波長が250〜400nmのパルスレーザ光を出射し、マイクロレンズアレイ40により、レーザ光42をガラス基板2に照射することにより、1ショットでピッチがpの加工痕12を形成する。その後、マイクロレンズアレイ40をガラス基板2に相対的に、p/2だけ移動させて、最初のショットで形成された加工痕12の中間に、加工痕13を形成する。最初のショットでレーザ光42の照射位置はpだけ離隔しているので、このショットによりガラス基板の表面に不規則な割れが生じることはない。2回目のショットで、ガラス基板の表面に割れが入る可能性があるが、その場合も、最初のショットの加工痕12に向けて割れが進行するので、不規則な方向に割れが発生することはない。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の分割のための処理時間を短縮することができ、ゴミの発生が防止されたガラス基板のレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源から、波長が250〜400nmのパルスレーザ光を出射し、このレーザ光を切断予定線に沿う長さが短い第1のレーザビーム10に成形して、切断予定線に沿う距離が長い第1の間隔でガラス基板に照射する。次いで、切断予定線に沿う長さが長い第2のレーザビーム20に成形して、切断予定線に沿う距離が短い第2の間隔でガラス基板に照射する。このとき、第1のレーザビーム10間の非照射位置と第2のレーザビーム20の照射位置とが対応するように、第1及び第2のレーザビームを照射する。 (もっと読む)


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