【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微鏡システムが開示される。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの欠陥を検出するフーリエフィルタが、環境に存在する通常の振動によりその出力が影響を受けない方法を提供する。
【解決手段】フーリエフィルタ機構６００の減衰タブ６０６は磁石６１０間の中心に位置する。タブ６０６が磁界中で移動するとき、タブ６０６の電気ループを通過する磁束は変化し、タブ６０６に渦電流が誘発され、その渦電流により生じた磁気力ベクトルはＺ−スプリング６０８の振動を減衰させるように働く。 （もっと読む）