【課題】従来粒径よりも細かい粒径の化成スラッジを含む処理液から簡素な構造で固形物を分離できる固液分離方法及び固液分離装置を提供する。
【解決手段】固液分離槽１３の処理液１５に面状の不織布１７を浸漬し、表裏面に処理液１５をぶつける方向に前記不織布１７を移動させることで処理液１５に含まれる固形物を不織布１７に付着させ、付着により固形物が減量されたろ液を固液分離槽１３から排出する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハーなどの微粒子固形分を含む金属研磨原液のろ過を、凝集剤などの薬品を一切使用することなく効率的にろ過脱水処理して、脱水ケーキからシリコンとしての再使用を可能とした金属研磨液のろ過脱水方法とその装置を提供すること。
【解決手段】微粒子固形分を含む金属研磨原液を凍結機（４）により凍結し、それを融解機（８）により融解してから、この原液を固液分離機（１４）に供給して脱水ケーキとろ過液に分離し、脱水ケーキを系外に排出する。 （もっと読む）