【課題】薄膜のポアソン比を簡易且つ直接求め得る薄膜ポアソン比の測定方法、及び測定装置を提供すること。
【解決手段】薄膜ポアソン比の測定方法は基板上に堆積された薄膜のポアソン比を測定する方法である。薄膜の面内方向における二軸熱応力の温度勾配と、薄膜に垂直な方向における膜厚に沿った熱膨張歪と、膜厚の弾性率と、基板の熱膨張係数を測定又は算出し、これらを所定の式に導入して演算する。
上述の薄膜ポアソン比の測定方法を実行する装置である。二軸熱応力の温度勾配を求めるため基板の曲率測定を行うレーザー光測定手段と、熱膨張歪を求めるＸ線反射率測定手段と、基板と薄膜を加熱及び冷却する熱処理手段と、基板と薄膜を収容し内部に不活性ガスを充填・排出する試料収容器と、所定の式に従って演算処理をする演算処理手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 微細な立体構造をその場観察的に観察できる立体観察装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 透過型電子顕微鏡と、その顕微鏡を制御し、前記透過型電子顕微鏡により撮影した画像を処理する制御処理装置と、前記透過型電子顕微鏡により撮影した画像を表示する２次元画像表示装置と、前記制御処理装置から出力された画像データに基づいて立体的な画像を表示する３次元画像表示装置と、を備え、前記制御処理装置は、前記透過型電子顕微鏡にセットされたサンプルを基準の角度から第１の方向に第１の角度だけ傾斜させた状態で観察者に観察領域を決定させるステップと、前記観察者が前記観察領域を決定したら、その観察領域の第１の画像を取得し、さらに前記サンプルを前記基準の角度から前記第１の方向とは反対の第２の方向に前記第１の角度だけ傾斜させて第２の画像を取得するステップと、を実施可能としたことを特徴とする立体観察装置を提供する。 （もっと読む）