スタック中の粒子をモニタする方法は、スタックの第2の反対の側の方に誘導される光のビームをスタックの第1の側で生成する段階を含む。このビームは反射されて、スタックの第1の側の方にスタック中の粒子を通して戻される。画像は粒子から散乱された光から得られる。画像は、不要な散乱光を含む視野を有するように位置づけられ向きを定められたイメージャを使用して得られる。この方法は、不要な散乱光を画像から遮断する段階を含む。
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【課題】粒子検知器を提供する。
【解決手段】スタック中を流れる粒子をモニタリングする機器であって、（ａ）光ビームを供給する光源と、（ｂ）センサーと、（ｃ）プローブハウジングを有する。前記プローブハウジングは、（ｉ）マウントと、（ｉｉ）前記光ビームが通過する第一の開口を有する近位部分と、（ｉｉｉ）前記光ビームからの光が、前記スタック中に流れる粒子から散乱された後に通過する第二の開口と、前記散乱光を反射し、焦点を合わせるための集束鏡とを有する末端部分と、（ｉｖ）前記末端部分を前記近位部分に接続する中間部分と、（ｖ）前記末端部分から前記中間部分及び前記近位部分を通過し、前記センサーへと達し、前記集束鏡によって反射され焦点を合わせられた前記光を前記センサーに導くように配置された導波路とを有する機器。 （もっと読む）