【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。
【解決手段】ウェハー搬送モジュールのシェル５８には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置とのインターフェース部と、ウェハーを支持するためにウェハー搬送モジュール内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。また、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能なハンドル２８に設けられた係合部材と協動する係合部材を備えた溝７８を有している。ハンドル２８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位置へロックするための戻り止めが設けられている。 （もっと読む）

【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。
【解決手段】ウェハー搬送モジュールのシェル５８には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置とのインターフェース部と、ウェハー３８を支持するためにウェハー搬送モジュール２０内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。また、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能なハンドル２８に設けられた係合部材と協動する係合部材を備えた溝７８を有している。ハンドル２８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位置へロックするための戻り止めが設けられている。 （もっと読む）

高温高強度ポリマーおよび少なくとも１つの金属酸化物および、任意の少なくとも１つのピグメントの混合物から製造する、例えば、マトリックス・トレイ、チップ・トレイ、およびウェハ・キャリヤなどの電子部品を処理するための静電放電を起こさない装置に関する。金属酸化物を導電性材料として使用すると、色の薄い静電放電を起こさない材料を有利に作成可能である。このような材料は、材料の性能仕様を劣化させることなく、ピグメントにより着色することができる。
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ドラムのためのベント装置である。ベント装置は、１対の対向面を有して複数のベント経路を画定する本体を有する。ベント経路は本体を通って延び、各々のベント経路は１対の対向面の各々において開口部分を有する。ベント経路は本体の中央部分のまわりに間隔をあけて配置される。薄膜構造体は、本体の１対の対向面の一方においてベント経路の開口部分を覆うように配置される。薄膜構造体は、ベント経路の開口部分を取り囲む密閉帯内で本体に密閉状に取り付けられる。薄膜構造体の一部は、本体の中央部分にさらに取り付けられる。保護構造体が本体に装着されて薄膜構造体を覆って配置される。
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直線状の端部を備え、成形されたフルオロポリマーからなるスイープエルボー（１０）を形成し、同時に継手の変形を最小限に抑える。スイープ継手を形成するためのモールド（３６）は、モールドキャビティブロック（３８）及び内コアリングを備える。内コアリングは、４５°の留継ぎにおいて遮断する２つの対称コア（４４，４６）を有する。対称コア（４４，４６）は、それぞれ、２つの部分、即ち外スイープコア（５２）と内スイープコア（５４）とに分割される。外スイープコア（５２）及び内スイープコア（５４）は、コアの長さに沿って延びる連続する平面上で分割される。外スイープコア（５２）は、直線状のルーメン（１４）の半分と、湾曲部の外スイープコア面においてより大きな湾曲部を成形する。内スイープコア（５４）は、直線状のルーメンの別の半分と、湾曲部の内スイープコア又はアンダーカットされた部分においてより小さな湾曲部（３０）を成形する。
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いくつかの実施形態は、電子部品、例えば読み書きヘッドの受け取りおよび格納のいずれか行うための静電気放電に対して安全なトレイ（１００）を含む。そのようなトレイ（１００）は、少なくとも一つの高温高強度重合体と、少なくとも一つの金属酸化物と、少なくとも一つの顔料との混合物から製造することができる。導電性材料としての金属酸化物の使用により、明るい色の静電気放電に対して安全な材料を製造することができるので、材料性能仕様を落とすことなく、そのような材料を顔料で着色することができる。
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分離型トルクレンチ（１０）はハンドル（１４）及び弧状の係合部（１６）を備える。弧状の係合部（１６）は、少なくとも１つの係合歯（２６）をさらに備え、同係合歯は、軸線方向に延びる溝を有する固定具（１２）と確実に解放可能に係合できるように、弧状の係合部（１６）の一方の端部の基端側にある。分離型トルクレンチ（１０）は、従来技術による複雑で脆弱な機械的設計を行わないで、所定のトルクレベルにおいて係脱可能である。
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フォトリソグラフィによる半導体処理に使用されるレチクルのキャリアはベース部分及びカバー部分を有している。ベース部分は複数のレチクルサポートと、複数のレチクル位置決め部材とを有している。カバー部分はベース部分とシール係合するように適合されている。また、カバー部分は内側表面を有しており、その内側表面には複数の離間したレチクル拘束部材と、そこから突き出した一対のレチクル位置決めタブとが設けられている。各レチクル位置決めタブは斜めエッジ部分を有している。位置決めタブは、カバー部分がベース部分と合わせられたときに、斜めエッジ部分が前記レチクルサポート上に載っているレチクルを付勢してレチクル拘束部材と係合させるように方向付けられている。
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ほぼポリカーボネートプラスチックから形成されたエンクロージャ部分を有するキャリアである。エンクロージャの選択された部分は、9.0(m/s ^1/2)(kW/m)^−2/3以下の火災伝搬指数を有するプラスチック材料からほぼ形成された外側表面部分を有している。適したプラスチック材料には、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリケトン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、ポリエーテルスルフォン、及びポリテトラフルオロエチレンが含まれる。この発明によるキャリアエンクロージャは、大部分が、比較的低価格で容易に成形可能な透明のポリカーボネートから形成されている。より高コストな防火性ポリマ材料が、そのキャリアや他の隣接キャリアへの火災の広がりに影響を与える必要のあるエンクロージャ上に選択的に配置されている。
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複数の小さいコンポーネントをハンドリングし、保持するためのキャリアである。このキャリアは、約20ダイン／cmから約100ダイン/cmの間の表面エネルギと、約ショアA15からショアD75の間の硬度と、約1×10⁴オーム／平方から1×10¹²オーム／平方の間の表面電気抵抗とを有する熱可塑性エラストマ材料から形成されたエラストマコンポーネント接触表面を有している。 （もっと読む）