【課題】音叉型圧電振動子、該音叉型圧電振動子と蓋とケースとを備えた圧電ユニット、該圧電ユニットを備えた圧電発振器、該圧電発振器を備えた電子機器の提供。
【解決手段】基部部分３０と、該基部部分３０に接続の第１音叉腕１０と第２音叉腕２０とを備えて構成され、第１音叉腕と第２音叉腕の各々の一端部がその基部部分に接続され、他端部が自由である音叉型圧電振動子１００で、第１音叉腕と第２音叉腕の各々は、第１幅Ｗ_１を備えた第１振動部１１と、第１幅Ｗ_１より大きい第２幅Ｗ_２を備えた第２振動部１２と、第２幅Ｗ_２より大きい第３幅Ｗ_３を備えた第３振動部１３と、を少なく共備え、第２振動部は第１振動部と第３振動部の間に形成され、かつ、第３振動部は第２振動部より音叉腕の先端部分の側に形成され、第１振動部と第２振動部の少なく共どちらか一方の振動部の上面と下面の少なくとも一面に溝１５、１６、２５、２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子、水晶ユニットとそれらの製造方法、及び水晶発振器と携帯機器を提供する。
【解決手段】水晶音叉基部３５４ａと第１水晶音叉腕３５２ａと第２水晶音叉腕３５３ａを備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子３５１ａで、第１水晶音叉腕の内側側面は第２水晶音叉腕の内側側面に対向し、第１側面と、第２側面３５５ｅ，３５６ｅを介して第１側面に接続された第３側面３５５ａ，３５６ａを備えた溝が、第１、第２水晶音叉腕の各主面に形成され、該溝は、音叉腕長さ方向で第４側面に対向する第５側面を備え、第１側面の他端部は第５側面の一端部に接続され、第３側面の他端部は第４側面の一端部に接続され、該溝の外側端部から水晶音叉腕の外側端部までの該溝の幅方向距離を部分幅で定義すると、該溝の溝幅はその部分幅より大きく、所定の関係にて、該溝の長さ寸法と、音叉型屈曲水晶振動子の全長寸法が決定されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器、及び各製造方法の提供。
【解決手段】音叉基部４８とその音叉基部に接続された第１音叉腕４６と第２音叉腕４７とを備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子４５の製造方法で、音叉型屈曲水晶振動子４５は基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ_１と周波数安定係数Ｓ_１を備え、かつ、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ_２と周波数安定係数Ｓ_２を備え、Ｍ_１＞Ｍ_２とＳ_１＜Ｓ_２の関係が得られるように、音叉形状と溝４９，５０と電極の寸法を決定する工程を備えている水晶振動子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】逆相の屈曲モードで振動する、超小型の音叉型圧電振動子と、その音叉型圧電振動子と蓋とケースとを備えて構成される圧電ユニットと、その圧電ユニットと増幅器とコンデンサと抵抗とを備えて構成される圧電発振器を提供する。
【解決手段】基部部分３０と、前記基部部分３０に接続された音叉腕１０とを備えて構成され、音叉腕１０の一端部が基部部分３０に接続され、他端部が自由である音叉型圧電振動子１００で、音叉腕１０は第１幅Ｗ１を備えた第１振動部１１と第１幅より大きい第２幅Ｗ２を備えた第２振動部１２とを少なくとも備え、第１振動部１１は第２振動部１２より基部部分３０の側に形成されていて、第１振動部１１と第２振動部１２の各振動部の上下面の各々には溝１５が形成されると共に、第１振動部１１の側面と第２振動部１２の側面は接続部分１４の側面を介して接続され、接続部分１４は音叉腕の第１長さ部分より短い基部部分の側にある。 （もっと読む）

【課題】屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉基部と第１音叉腕と第２音叉腕とを備えた音叉形状を水晶ウエハ内に形成する工程と、第１音叉腕と第２音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面に、又はその一面と音叉基部に溝を形成する工程と、音叉型屈曲水晶振動子の第１電極端子を形成するために、第１音叉腕の溝の面の上に配置された電極を、第２音叉腕の第１側面と第２側面に配置された電極に接続する工程と、音叉型屈曲水晶振動子の第２電極端子を形成するために、第２音叉腕の溝の面の上に配置された電極を、第１音叉腕の第１側面と第２側面に配置された電極に接続する工程と、音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比ｒ_１が、２次高調波モード振動の容量比ｒ_２より小さくなるように、音叉形状と溝と電極の寸法を決定する工程と、音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程と、を含む水晶振動子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】屈曲モードで振動する音叉形状の水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ_１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ_２より大きくなる様に、音叉形状と溝と電極の寸法を決定する工程と、水晶ウエハの上面と下面に少なくとも２回、異なる工程での金属膜形成工程と、該金属膜上へのレジスト塗布工程と、音叉基部と、第１、第２音叉腕とを備えた音叉形状を化学的エッチング法にて水晶ウエハ内に形成する工程と、第１、第２音叉腕の各々の上下面の各々に化学的エッチング法にての溝形成工程と、第１音叉腕の溝の面上の第１電極を、第２音叉腕の第１側面と第２側面に形成の第２電極に接続し、かつ、第２音叉腕の溝の面上の第１電極を、第１音叉腕の第１側面と第２側面に形成の第２電極に接続する工程と、を含む水晶振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】品質係数Ｑ値が高く、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】逆相の屈曲モードで振動し、音叉基部と音叉基部に接続された第１及び第２音叉腕とを備えた音叉型水晶振動子７０と、ケース７１と、蓋７２を備えて構成されるユニット１７０であって、水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成し、その上にレジストを塗布、第１及び第２音叉腕とを形成し、第１及び第２音叉腕の各々の上面と下面に溝を形成、その上に形成された第１電極が、第２音叉腕の側面に形成された第２電極に接続され、同様に第２音叉腕に形成された第３電極が、第１音叉腕の側面に形成された第４電極に接続され、音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が少なくとも２回、異なる工程で調整されていて、ケースの固定部に音叉型屈曲水晶振動子が固定され、ケースに蓋が接続される。 （もっと読む）

【課題】品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ_１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ_２より大きくなるように、音叉形状と溝と電極の寸法が決定される。水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成、その上にレジストが塗布され、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７とを備えた音叉形状を形成、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７の各々の上面と下面の各々に溝が形成され、金属膜の上に塗布されたレジストを除去し、溝の面の上に第１電極が形成され、かつ、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７の各々の側面に第２電極が形成され、各音叉型屈曲水晶振動子を水晶ウエハから切り離し、音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】衝撃や振動を受けても、それらの影響を受けない高調波モード振動を抑えた基本波モードで振動する音叉形状の屈曲水晶振動子と、それを備えた水晶ユニットと水晶発振器及び電子機器を提供する。
【解決手段】音叉基部と、その音叉基部に接続された少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを備えた音叉形状の音叉型屈曲水晶振動子で、第１音叉腕と第２音叉腕の各音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由であって、各音叉腕の上面と下面の各々に溝が形成され、逆相の屈曲モードで振動するように溝の面の上と各音叉腕の側面の上に電極が配置されている音叉型屈曲水晶振動子で、その音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ_１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ_２より大きくなるように、音叉形状と溝と電極との寸法が決められる。 （もっと読む）

【課題】Ｑの高い音叉型屈曲水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶ウエハ４０の上下面に金属膜４１を形成し、その上にレジスト４２を塗布、フォトリソ工程及びエッチング加工を経て腕部４３，４４と基部４５とを具えた音叉形状を形成する。次のフォトリソ工程とエッチング加工により、音叉腕４３、４４に溝４６，４７，４８，４９を形成、音叉腕４３の側面に配置した電極５０，５３と音叉腕４４の溝４８，４９に配置した電極５５，５６が同極となるように接続形成、音叉腕４３の溝４６、４７に配置した電極５１，５２と音叉腕４４の側面に配置した電極５４，５７も同極となるように接続形成する。音叉型屈曲水晶振動子６０は更にケース６５の固定部５９に導電性接着剤６１にて固定され、周波数調整後にケース６５と蓋６３を接合、ケース６５に設けられた穴６７を真空中で封止する。 （もっと読む）